[发明专利]激光抛光系统及方法

权利要求书

1.一种激光抛光系统，其特征在于，所述系统包括控制单元、激光发射器、光束整形组件、移动平台及激光干涉仪；

待抛光物件固定在所述移动平台上，并由所述移动平台携带所述待抛光物件运动；

所述激光发射器用于发射激光，所述光束整形组件设置在所述激光发射器的激光光路上，用于对所述激光发射器发射的激光进行光束整形，并将整形后的激光投射到所述待抛光物件的待抛光表面上进行激光抛光；

所述控制单元与所述激光干涉仪电性连接，用于控制所述激光干涉仪对所述移动平台上的所述待抛光物件的待抛光表面进行抛光面形检测，得到对应的面形检测数据；

所述控制单元还分别与所述激光发射器、所述光束整形组件及所述移动平台电性连接，用于根据来自所述激光干涉仪的面形检测数据对所述激光发射器、所述光束整形组件及所述移动平台各自的工作状态进行控制，以使所述待抛光物件上的待抛光表面达到目标抛光效果。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述移动平台设置在所述激光干涉仪的探测光路延伸方向，与经所述光束整形组件整形后的激光的光路延伸方向相交的位置处。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述激光干涉仪的探测光路延伸方向与经所述光束整形组件整形后的激光的光路延伸方向之间的夹角范围为45°～90°。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述待抛光物件的待抛光表面垂直于所述移动平台的承载面，并固定设置在所述移动平台的承载面上，以使所述移动平台的承载面带动所述待抛光物件运动。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，经所述光束整形组件整形后的激光的光路延伸方向与所述待抛光物件的待抛光表面的法线方向之间的夹角范围为0°～20°。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，经所述光束整形组件整形后的激光在所述移动平台的作用下，于所述待抛光物件的待抛光表面上扫描时的扫描激光搭接率范围为0.4～0.8。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的系统，其特征在于，所述光束整形组件包括聚焦透镜及光束整形器；

所述聚焦透镜设置在所述激光发射器与所述光束整形器之间，用于将对所述激光发射器发射的激光进行聚焦，并将聚焦后的激光传输给所述光束整形器，由所述光束整形器对所述聚焦后的激光进行光束整形后投射到所述待抛光物件的待抛光表面上。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述光束整形组件还包括第一偏转镜及第二偏转镜；

所述第一偏转镜设置在所述激光发射器与所述聚焦透镜之间，用于将所述激光发射器发射的激光偏转投射到所述聚焦透镜上；

所述第二偏转镜设置在所述光束整形器与所述待抛光物件之间，用于将经所述光束整形器整形后的激光偏转投射到所述待抛光物件的待抛光表面上。