[发明专利]激光抛光系统及方法

说明书

本申请提供一种激光抛光系统及方法。所述系统包括控制单元、激光发射器、光束整形组件、移动平台及激光干涉仪。待抛光物件固定在移动平台上并由移动平台带动；光束整形组件设置在激光发射器的激光光路上，用于对激光进行光束整形，并将整形后的激光投射到待抛光物件的待抛光表面上进行抛光；控制单元与激光干涉仪电性连接，用于控制激光干涉以对待抛光表面进行抛光面形检测得到对应的面形检测数据；控制单元还分别与激光发射器、光束整形组件及移动平台及电性连接，用于根据面形检测数据对激光发射器、光束整形组件及移动平台进行控制，使待抛光物件达到目标抛光效果。所述系统可对待抛光物件进行高精度抛光处理，提高物件抛光成品率。

技术领域

本申请涉及激光抛光技术领域，具体而言，涉及一种激光抛光系统及方法。

背景技术

激光抛光技术是伴随着激光技术的发展而出现的一种对新型材料表面进行处理的技术，它通过采用激光光束扫描加工工件表面，利用激光与材料之间的相互作用，去掉工件表面多余物质，从而形成光滑平面。但就目前而言，业界主流采用的激光抛光技术是仅仅通过激光辐射与材料表面的光热耦合作用及光化学作用来实现抛光，但这种激光抛光技术在对工件表面进行抛光时的抛光精度不高，会造成大量工件的抛光表面无法达到想要的抛光效果。

发明内容

为了克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种激光抛光系统及方法，所述激光抛光系统通过激光加工与干涉仪测试的结合，对待抛光物件的待抛光表面进行高精度抛光处理，以提高满足目标抛光效果的物件抛光成品率。

就系统而言，本申请实施例提供一种激光抛光系统，所述系统包括控制单元、激光发射器、光束整形组件、移动平台及激光干涉仪；

待抛光物件固定在所述移动平台上，并由所述移动平台携带所述待抛光物件运动；

所述激光发射器用于发射激光，所述光束整形组件设置在所述激光发射器的激光光路上，用于对所述激光发射器发射的激光进行光束整形，并将整形后的激光投射到所述待抛光物件的待抛光表面上进行激光抛光；

所述控制单元与所述激光干涉仪电性连接，用于控制所述激光干涉仪对所述移动平台上的所述待抛光物件的待抛光表面进行抛光面形检测，得到对应的面形检测数据；

所述控制单元还分别与所述激光发射器、所述光束整形组件及所述移动平台电性连接，用于根据来自所述激光干涉仪的面形检测数据对所述激光发射器、所述光束整形组件及所述移动平台各自的工作状态进行控制，以使所述待抛光物件上的待抛光表面达到目标抛光效果。

可选地，在本申请实施例中，上述移动平台设置在所述激光干涉仪的探测光路延伸方向，与经所述光束整形组件整形后的激光的光路延伸方向相交的位置处。

可选地，在本申请实施例中，上述激光干涉仪的探测光路延伸方向与经所述光束整形组件整形后的激光的光路延伸方向之间的夹角范围为45°～90°。

可选地，在本申请实施例中，上述待抛光物件的待抛光表面垂直于所述移动平台的承载面，并固定设置在所述移动平台的承载面上，以使所述移动平台的承载面带动所述待抛光物件运动。

可选地，在本申请实施例中，经上述光束整形组件整形后的激光的光路延伸方向与所述待抛光物件的待抛光表面的法线方向之间的夹角范围为0°～20°。

可选地，在本申请实施例中，经上述光束整形组件整形后的激光在所述移动平台的作用下，于所述待抛光物件的待抛光表面上扫描时的扫描激光搭接率范围为0.4～0.8。

可选地，在本申请实施例中，上述光束整形组件包括聚焦透镜及光束整形器；

所述聚焦透镜设置在所述激光发射器与所述光束整形器之间，用于将对所述激光发射器发射的激光进行聚焦，并将聚焦后的激光传输给所述光束整形器，由所述光束整形器对所述聚焦后的激光进行光束整形后投射到所述待抛光物件的待抛光表面上。