[发明专利]用于OLED面板的掩模及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201811064104.3 申请日: 2018-09-12
公开(公告)号: CN109166984A 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: 平财明;谢自民;冯波;陈春明 申请(专利权)人: 苏州蓝沛光电科技有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 杨胜
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 基板 掩模 聚合物树脂 可用性 膜形态 图案孔 穿过 制造
【权利要求书】:

1.一种用于OLED面板的掩模,其特征在于,包括:

基板(10);

涂层(20),其具有预定厚度并形成在所述基板(10)的两个表面中的至少一个上;

图案孔(30),其穿过涂层(20)和基板(10)而形成;

所述基板(10)由膜形态的聚合物树脂制成。

2.根据权利要求1所述的用于OLED面板的掩模,其特征在于,

所述涂层(20)由树脂或金属制成。

3.根据权利要求1或2所述的用于OLED面板的掩模,其特征在于,

所述涂层(20)包括:

第一涂层(22),其由树脂制成;

第二涂层(24),其形成在所述第一涂层(22)的表面上并由金属制成。

4.根据权利要求1所述的用于OLED面板的掩模,其特征在于,

所述图案孔(30)形成有斜面(32)。

5.一种用于OLED面板的掩模的制造方法,其特征在于,包括:

基板形成步骤(S10):由膜形态的聚合物树脂形成基板(10);

涂层形成步骤(S20):在基板(10)的两个表面中的至少一个上形成涂层(20);

图案孔形成步骤(S30):形成穿过所述涂层(20)和所述基板(10)的图案孔(30)。

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