[发明专利]用于OLED面板的掩模及其制造方法在审
申请号: | 201811064104.3 | 申请日: | 2018-09-12 |
公开(公告)号: | CN109166984A | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 平财明;谢自民;冯波;陈春明 | 申请(专利权)人: | 苏州蓝沛光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 杨胜 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 掩模 聚合物树脂 可用性 膜形态 图案孔 穿过 制造 | ||
1.一种用于OLED面板的掩模,其特征在于,包括:
基板(10);
涂层(20),其具有预定厚度并形成在所述基板(10)的两个表面中的至少一个上;
图案孔(30),其穿过涂层(20)和基板(10)而形成;
所述基板(10)由膜形态的聚合物树脂制成。
2.根据权利要求1所述的用于OLED面板的掩模,其特征在于,
所述涂层(20)由树脂或金属制成。
3.根据权利要求1或2所述的用于OLED面板的掩模,其特征在于,
所述涂层(20)包括:
第一涂层(22),其由树脂制成;
第二涂层(24),其形成在所述第一涂层(22)的表面上并由金属制成。
4.根据权利要求1所述的用于OLED面板的掩模,其特征在于,
所述图案孔(30)形成有斜面(32)。
5.一种用于OLED面板的掩模的制造方法,其特征在于,包括:
基板形成步骤(S10):由膜形态的聚合物树脂形成基板(10);
涂层形成步骤(S20):在基板(10)的两个表面中的至少一个上形成涂层(20);
图案孔形成步骤(S30):形成穿过所述涂层(20)和所述基板(10)的图案孔(30)。
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