[发明专利]用于OLED面板的掩模及其制造方法在审
申请号: | 201811064104.3 | 申请日: | 2018-09-12 |
公开(公告)号: | CN109166984A | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 平财明;谢自民;冯波;陈春明 | 申请(专利权)人: | 苏州蓝沛光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 杨胜 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 掩模 聚合物树脂 可用性 膜形态 图案孔 穿过 制造 | ||
本发明涉及一种用于OLED面板的掩模,其包括由膜形态的聚合物树脂制成的基板(10);以预定厚度形成在基板(10)的两个表面中的至少一个上的涂层(20);穿过涂层(20)和基板(10)形成图案孔(30)。因此,可以改善用于OLED面板的掩模的功能和可用性。
技术领域
本发明涉及用于OLED面板的掩模及其制造方法,更具体地,涉及用于制造OLED面板的OLED面板掩模及其制造方法。
背景技术
通常,有机发光二极管(OLED)是指自发光有机材料,其通过使用当向荧光有机化合物供应电流时发光的电致发光现象来发光。这些OLED相比于LCD,以较好的图像质量和简单的制造工艺而需求越来越多。
在现有工艺中,FMM(Fine Metal Mask精细金属掩模)或SM(Shadow Mask阴影掩模)已广泛用于OLED面板掩模。而传统的OLED面板掩模具有如下结构:以一定厚度涂覆光致抗蚀剂PR的基板上,进行蚀刻作业以形成预定图案的图案孔。上述基板一般由诸如INVAR、SUS等金属材料制成,具有低的热膨胀系数。
然而,由于具有上述结构的用于OLED面板的掩模中基板由金属材料制成,因此其制造时间长且昂贵,并且由于金属的重量而发生弯曲。目前,对于小尺寸面板中使用的基板,其在使用后易于通过清洁再循环。但是对于大型面板中使用的基板,由于生产和处理过程中易产生损坏,因此很难再循环。
另外,执行曲面作业相对困难和复杂,并且如果超过一定的曲面值,则在实际上容易发生变形和破损。
另外,由于与被粘物表面的粘附力(密封力)低,因此会被污染源污染。
综上,导致了用于OLED面板的掩模的功能和可用性降低。
发明内容
需要解决的问题:本发明是为解决上述问题而进行的,本发明需要解决的问题是提供用于OLED面板的掩模及其制造方法,其不仅可以易于曲面作业,而且还可以有效提高与被附物表面的粘附力。
因此,本发明提供了一种用于OLED面板的掩模及其制造方法,通过使用低价聚合物树脂的基材,并使用Roll to Roll工艺,可以制造出高质量和低生产周期的低价基板,并且由于OLED面板的基板可以在一次性使用后丢弃,因此可以省略基板的回收、洗涤和再循环过程,从而简化生产工艺。
解决问题的方法:
本发明的用于OLED面板的掩模,包括:基板,其由膜形态的聚合物树脂制成;涂层,其具有预定厚度并形成在所述基板的两个表面中的至少一个上;图案孔,其穿过涂层和基板而形成。
另外,本发明的用于OLED面板的掩模的制造方法,包括:
基板形成步骤:由膜形态的聚合物树脂形成基板;
涂层形成步骤:在基板的两个表面中的至少一个上形成涂层;
图案孔形成步骤:形成穿过涂层和基板的图案孔。
技术效果:根据本发明的用于OLED面板的掩模,由于基板由膜形态的聚合物树脂制成,因此容易在弯曲表面等上作业,并且可以进一步改善与被粘物表面的粘附性。
涂层还可以增强例如耐久性等物理性质。
另外,通过适用聚合物树脂的基材,可以实现制造方法的多样化,并且可以通过卷对卷工艺提高生产率来提供低廉的基板。此外,与金属相比生产处理和加工容易,因此可以制造高分辨率的基板,并且不受基板尺寸的拘束能够制造各种形状的基板,而且还可以在OLED面板的生产工艺时,同时加工以提高生产率。
因此,可以相对改善用于OLED面板的掩模的功能和可用性。
附图说明
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州蓝沛光电科技有限公司,未经苏州蓝沛光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811064104.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择