[发明专利]用于检查多个测量物体的材料属性的设备在审
申请号: | 201811066403.0 | 申请日: | 2018-09-13 |
公开(公告)号: | CN109507190A | 公开(公告)日: | 2019-03-22 |
发明(设计)人: | 安泰兴;金英德;朴相吉;朴峻范;岩阳一郎;田炳焕 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邵亚丽 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 第二测量 第一测量 光源 信号检查 配置 材料属性 测量单元 测量位置 检查单元 检查设备 选择单元 反射镜 测量 检查 | ||
1.一种检查设备,包括:
产生第一光的光源;
第一测量单元,被配置为接收来自所述光源的第一光并将第一光引导到第一测量物体;
第二测量单元,被配置为接收来自所述光源的第一光并将第一光引导到与第一测量物体不同的第二测量物体;
检查单元,被配置为接收沿着第一光学路径从第一测量单元提供的第一光信号并使用第一光信号检查第一测量物体,并且接收沿着与第一光学路径不同的第二光学路径从第二测量单元提供的第二光信号并使用第二光信号检查第二测量物体;以及
测量位置选择单元,被配置为通过调整反射镜的角度来交替地启用第一光学路径和第二光学路径。
2.根据权利要求1所述的设备,其中第一测量单元包括第一照明单元和第一光接收单元,第一照明单元被配置为将第一光引导到第一测量物体,第一光接收单元被配置为接收穿过第一测量物体或从第一测量物体反射的第一光并将第一光信号提供到所述测量位置选择单元,并且
其中第二测量单元包括第二照明单元和第二光接收单元,第二照明单元被配置为将第一光引导到第二测量物体,第二光接收单元被配置为接收穿过第二测量物体或从第二测量物体反射的第一光并将第二光信号提供到所述测量位置选择单元。
3.根据权利要求1所述的设备,还包括:
驱动单元,被配置为改变所述反射镜的角度;以及
控制单元,被配置为控制所述驱动单元以调整所述反射镜的角度。
4.根据权利要求3所述的设备,其中所述控制单元被配置为根据预设时间驱动所述驱动单元并且将第一光信号或第二光信号提供到所述检查单元。
5.根据权利要求1所述的设备,还包括控制单元,所述控制单元被配置为:
在第一测量单元将第一光引导到第一测量物体时,通过调整所述反射镜的角度来将第一光信号提供到所述检查单元;以及
在第二测量单元将第一光引导到第二测量物体时,通过调整所述反射镜的角度来将第二光信号提供到所述检查单元。
6.根据权利要求1所述的设备,还包括透镜,所述透镜被配置为将第一光信号或第二光信号汇聚在所述反射镜上。
7.根据权利要求1所述的设备,其中所述检查单元包括浓度测量单元,所述浓度测量单元被配置为测量第一测量物体或第二测量物体中包括的材料的浓度。
8.根据权利要求1所述的设备,其中所述检查单元包括颗粒测量单元,所述颗粒测量单元被配置为测量第一测量物体或第二测量物体中包括的颗粒大小。
9.根据权利要求1所述的设备,还包括第三光接收单元,第三光接收单元被配置为:
接收穿过第一测量物体的第一光并且将第一光信号提供到所述测量位置选择单元;以及
接收穿过第二测量物体的第一光并且将第二光信号提供到所述测量位置选择单元。
10.一种检查设备,包括:
第一测量单元,第一测量物体设置在第一测量单元中,并且第一测量单元包括被配置为将第一光提供到第一测量物体的第一照明单元和被配置为接收穿过第一测量物体的第一光的第一光接收单元;
第二测量单元,第二测量物体设置在第二测量单元中,并且第二测量单元包括被配置为将第二光提供到第二测量物体的第二照明单元和被配置为接收穿过第二测量物体的第二光的第二光接收单元;
检查单元,被配置为接收从第一测量单元提供的第一光信号并且据此检查第一测量物体,并且接收从第二测量单元提供的第二光信号并且据此检查第二测量物体;
反射镜,被配置为将第一光信号或第二光信号引导到所述检查单元;以及
控制单元,被配置为控制驱动单元以调整所述反射镜的角度。
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