[发明专利]衬底处理装置及衬底处理方法

权利要求书

1.衬底处理装置，其具备：

衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；

喷嘴，所述喷嘴向通过所述衬底旋转部进行旋转的所述衬底的被处理面供给处理液；

喷嘴基台，所述喷嘴基台使所述喷嘴在所述衬底的所述被处理面的上方摇动；

拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向所述衬底供给了所述处理液时所述被处理面的形成了液膜的区域；

检测部，所述检测部参照所述拍摄部的拍摄结果，基于所述多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的处理结束时间点；和

调节部，所述调节部基于针对多片所述衬底而利用所述处理液进行处理时的所述检测部的检测结果，来调节包括所述喷嘴的摇动幅度、所述喷嘴的摇动速度以及自所述喷嘴喷出所述处理液的喷出流量中的至少一者的衬底处理的条件，以减小所述多个对象区域的所述处理结束时间点的差异，

其中，所述拍摄区域至少包含所述被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为所述多个对象区域。

2.衬底处理装置，其具备：

衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；

喷嘴，所述喷嘴向通过所述衬底旋转部进行旋转的所述衬底的被处理面供给处理液；

拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向所述衬底供给了所述处理液时所述被处理面的形成了液膜的区域；和

检测部，所述检测部参照所述拍摄部的拍摄结果，基于所述多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的处理结束时间点，

其中，所述拍摄区域至少包含所述被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为所述多个对象区域，

所述检测部对所述亮度值的微分值与阈值的大小关系进行比较，基于该比较结果来检测所述处理结束时间点，

在所述微分值变得大于所述阈值之后又变得小于所述阈值的状态、或所述微分值变得小于所述阈值之后又变得大于所述阈值的状态下，所述微分值的变动幅度落入特定的范围内的情况下，所述检测部检测所述变动幅度落入所述范围内的时间点作为所述处理结束时间点。

3.如权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中，所述检测部基于所述多个对象区域的各自的平均亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点，所述平均亮度值是在所述衬底旋转一圈所需要的时间以上的时间范围内进行平均化而得到的。

4.如权利要求3所述的衬底处理装置，其中，所述拍摄部在所述时间范围内取得多幅拍摄图像，

所述平均亮度值为所述多幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值的平均值。

5.如权利要求3所述的衬底处理装置，其中，所述拍摄部以所述时间范围为曝光时间而取得一幅拍摄图像，

所述平均亮度值为所述一幅拍摄图像中的所述多个对象区域的各自的所述亮度值。

6.如权利要求1或2所述的衬底处理装置，其中，在所述检测部检测到所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点的时间点，停止利用所述喷嘴供给所述处理液。

7.衬底处理装置，其具备：

衬底旋转部，所述衬底旋转部将衬底保持为水平并使其旋转；

喷嘴，所述喷嘴向通过所述衬底旋转部进行旋转的所述衬底的被处理面供给处理液；

拍摄部，所述拍摄部对包含多个对象区域的拍摄区域进行拍摄，所述对象区域是在向所述衬底供给了所述处理液时所述被处理面的形成了液膜的区域；

检测部，所述检测部参照所述拍摄部的拍摄结果，基于所述多个对象区域的各自的亮度值的变化，来检测所述多个对象区域的各自的处理结束时间点；和

报警部，在停止利用所述喷嘴供给所述处理液的时间点、所述检测部未检测到所述多个对象区域的各自的所述处理结束时间点的情况下，所述报警部报告警报，

其中，所述拍摄区域至少包含所述被处理面的中央侧的区域和外周侧的区域作为所述多个对象区域。