[发明专利]用于硅上液晶组件的厚层

权利要求书

1.一种基板上液晶组件，即LCOS组件，包括：

LCOS载体；

至少一个厚层，在LCOS载体上且与临界厚度关联，

其中临界厚度至少为5微米；和

交换引擎，在所述至少一个厚层上，

其中交换引擎包括LCOS管芯和LCOS覆盖玻璃，以包含LCOS液体，且

其中对于具体温度范围，LCOS组件与小于0.5毫度曲率每摄氏度的热敏感性关联；

所述具体温度范围为环境温度到至少50摄氏度；

其中至少一个厚层包括多个厚层；

其中多个厚层包括一组金属层，以为LCOS组件传导电信号；和

其中多个厚层包括一组电介层。

2.如权利要求1所述的LCOS组件，其中每一个厚层与至少5微米的厚度关联。

3.如权利要求1所述的LCOS组件，进一步包括：

LCOS安装柱，用于在光通信系统的光路中保持LCOS组件。

4.如权利要求1所述的LCOS组件，其中LCOS组件在所述具体温度范围中的环境温度下变形，以对准光通信系统。

5.如权利要求1所述的LCOS组件，其中LCOS载体是具有至少1000微米厚度的基板。

6.如权利要求1所述的LCOS组件，其中LCOS组件的LCOS载体与第一热膨胀系数关联，且LCOS组件的LCOS管芯与第二热膨胀系数关联；和

其中第一热膨胀系数和第二热膨胀系数之间的失配大于百万分之2每摄氏度。

7.如权利要求1所述的LCOS组件，其中LCOS载体是氮化铝载体，且LCOS管芯是硅管芯。

8.如权利要求1所述的LCOS组件，其中至少一个厚层包括以下中的至少一个的层：

金，

铜，或

电介质。

9.如权利要求1所述的LCOS，其中所述环境温度为23摄氏度。