[发明专利]用于硅上液晶组件的厚层

说明书

基板上液晶(LCOS)组件可以包括LCOS载体。LCOS组件可以包括在LCOS载体上且与临界厚度关联的至少一个厚层。临界厚度可以为至少5微米。LCOS组件可以包括在至少一个厚层上的交换引擎。交换引擎可以包括LCOS管芯和LCOS覆盖玻璃以包含LCOS液体。对于具体温度范围，LCOS组件与小于0.5毫度曲率每摄氏度的热敏感性关联。

技术领域

本发明涉及硅上液晶(liquid crystal on silicon：LCOS)组件。更具体地，本发明的一些方面涉及用于LCOS组件的厚层，其减少LCOS组件的温度诱导的光学对准敏感性(例如针对温度变化减少光束位移或转向角度的变化)。

背景技术

硅上液晶(LCOS)组件可以用作光通信系统的开关元件。例如，波长选择开关(WSS)可以包括LCOS以将光的波长信道引导到WSS的不同光端口。LCOS组件可以包括多个部件，例如LCOS安装柱(以将LCOS组件安装为与光通信系统的另一光学元件对准)，LCOS载体，LCOS管芯，LCOS覆盖玻璃，和/或诸如此类。

LCOS组件可以包括与多种不同材料关联的部件。例如，LCOS组件可以包括与第一热膨胀系数关联的第一类型材料的LCOS载体(例如氮化铝和/或诸如此类)和与第二热膨胀系数关联的第二类型材料(例如硅和/或诸如此类)的LCOS管芯，第二热膨胀系数与第一热膨胀系数相差临界量。

类似地，LCOS覆盖玻璃可以包括空腔，且LCOS管芯可以附接到LCOS覆盖玻璃，以包围LCOS覆盖玻璃的空腔中的LCOS液体。LCOS液体可以与第一热膨胀系数关联，且LCOS组件的另一部件(例如LCOS覆盖玻璃，LCOS管芯，LCOS载体，LCOS安装柱，和/或诸如此类)可以与第二热膨胀系数关联，该第二热膨胀系数与第一热膨胀系数相差临界量。基于LCOS组件的热膨胀系数和热敏感性之间的失配，温度变化会使得LCOS组件变为与光通信系统的一个或多个其他光学元件不对准。

发明内容

根据一些可行的实施方式，一种基板上液晶(LCOS)组件可以包括LCOS载体。LCOS组件可以包括在LCOS载体上且与临界厚度关联的至少一个厚层。临界厚度可以为至少5微米。LCOS组件可以包括在至少一个厚层上的交换引擎。交换引擎可以包括LCOS管芯和LCOS覆盖玻璃以包含LCOS液体。对于具体温度范围，LCOS组件与小于0.5毫度曲率每摄氏度的热敏感性关联。

根据一些可行的实施方式，光交换部件可以包括与第一热膨胀系数关联的基板。光交换部件可以包括与第二热膨胀系数关联的光交换引擎，该第二热膨胀系数与第一热膨胀系数相差临界量。光交换部件可以包括至少一个厚层，其设置在基板和光交换引擎之间，以对于具体温度范围，将光交换部件的热敏感性降低到小于1毫度曲率每摄氏度。

根据一些可行的实施方式，光学系统可以包括交换部件，以为光学系统执行光交换。交换部件可以包括与第一热膨胀系数关联的基板。交换部件可以包括与第二热膨胀系数关联的交换引擎，该第二热膨胀系数与第一热膨胀系数相差临界量。交换部件可以包括至少一个厚层，设置在基板和交换引擎之间，以对于第一温度到第二温度的具体温度范围，将基于热膨胀系数失配的交换部件热敏感性降低到小于1毫度曲率每摄氏度。厚层可以在第一温度下让交换部件变形达到临界变形程度。对于具体温度范围，交换部件可以保持在光学系统的光路中对准。

附图说明

图1A-1D是本文所述的示例性实施方式的概况示意图。

图2A-2C是与本文所述的示例性实施方式有关的特性的示意图；和

图3A-3C是与本文所述的示例性实施方式有关的特性图。

具体实施方式

示例性实施方式的以下详细描述参照了附随的附图。相同附图标记在不同附图中可以表示相同或相似的元件。