[发明专利]一种真空镀膜机有效
申请号: | 201811085077.8 | 申请日: | 2018-09-17 |
公开(公告)号: | CN109161866B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 李志荣;陈思 | 申请(专利权)人: | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 周克佑 |
地址: | 523820 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 | ||
1.一种真空镀膜机,其内设有镀膜室,在所述镀膜室内可转动地安装有工件转架,其特征是,所述真空镀膜机还包括循环水冷系统,所述循环水冷系统设有冷却水流动管,所述冷却水流动管布置在所述工件转架内,对所述工件转架进行冷却,在所述工件转架的一端设有传动轴,所述传动轴穿出所述镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接,在所述传动轴的外端安装有旋转水管接头,进出的冷却水流动管通过所述旋转水管接头与外部水源连接;
所述旋转水管接头包括旋转盖底座和旋转盖,所述旋转盖底座固定安装在所述传动轴的外端,所述旋转盖可转动的密封套装在所述旋转盖底座的外端,在所述旋转盖内面与旋转盖底座的外端之间形成连通腔,在所述旋转盖上设置有系统进水口和位于中间的系统出水口,所述系统进水口与连通腔连通,在所述旋转盖底座中设有进水通道和位于旋转盖底座中间的出水通道,所述进水通道的进水端与所述连通腔连通,所述进水通道的出水端与所述冷却水流动管的进水端连接,所述出水通道的出水端从所述旋转盖底座的外端穿出,并穿过所述连通腔,并可转动的密封插接在系统出水口的里端,所述出水通道的进水端与所述冷却水流动管的出水端连接;
所述旋转盖底座的外侧壁与所述旋转盖的内侧壁之间通过第一轴承连接,且在所述旋转盖底座的外侧壁与所述旋转盖的内侧壁之间还设有用于密封的油封,所述油封位于所述连通腔与第一轴承之间。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:在所述旋转盖底座内设有相互隔离开的上汇水腔和下汇水腔,所述上汇水腔通过连通孔与所述连通腔连通,所述进水通道的进水端与所述上汇水腔连通,所述出水通道的进水端与所述下汇水腔连通,所述下汇水腔再与冷却水流动管的出水端连通。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:在所述传动轴上安装有第一同步带轮,所述第一同步带轮位于所述镀膜室外边,在所述第一同步带轮的侧边通过固定架安装有减速箱,在所述减速箱的输出轴上安装有第二同步带轮,所述第一同步带轮与第二同步带轮通过同步带连接,所述减速箱的输入端与电机连接。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:在所述镀膜室的上顶壁外安装有磁流体密封件,且所述磁流体密封件套于传动轴上,以达到密封。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述循环水冷系统设有多条冷却水流动管和分流盘,所述分流盘安装在所述工件转架内,在所述分流盘内设有进水分流道和出水汇流道,在所述分流盘的表面设有与进水分流道连通的分进水连接口和总进水连接口,在所述分流盘的表面还设有与出水汇流道连通的分出水连接口和总出水连接口,所述分进水连接口和分出水连接口的数量分别与所述冷却水流动管的数量相同,所述分进水连接口和分出水连接口分别与所述冷却水流动管的进水端和出水端连接,所述总进水连接口和总出水连接口分别与所述进水通道的出水端和所述出水通道的进水端连接。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述传动轴的中轴线处设有中部通孔,在所述中部通孔内设有进水管和出水管,所述进水管的进水端与进水通道的出水端连接,所述进水管的出水端与总进水连接口连接,所述出水管的进水端与总出水连接口连接,所述出水管的出水端与出水通道的进水端连接。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:在所述传动轴的下端设有第二轴肩,在所述工件转架的顶板开有安装孔,并在所述安装孔中焊接固定有连接环座,在所述连接环座的侧壁上开有螺纹孔,所述传动轴的下端插入连接环座的中间孔中并从连接环座的下面穿出,所述第二轴肩抵靠在连接环座的上端面上,在所述传动轴的穿出连接环座下面的部分的侧壁上设有外螺纹,并配合拧有锁紧螺母,在所述传动轴的下端对应螺纹孔的位置开有盲孔,在所述螺纹孔中拧进有锁定螺栓,所述锁定螺栓的里端插入所述盲孔中。
8.根据权利要求6所述的真空镀膜机,其特征在于:在所述传动轴的下端通过螺钉固定安装有用于封住传动轴下端口的传动轴封板,在所述传动轴封板上设置有进水导管和出水导管,所述进水管的出水端与进水导管的上端连接,所述进水导管的下端通过高压金属波纹管与总进水连接口连接,所述出水管的进水端与出水导管的上端连接,所述出水导管的下端通过高压金属波纹管与总出水连接口连接。
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