[发明专利]一种真空镀膜机

说明书

本发明公开了一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在镀膜室内可转动地安装有工件转架，真空镀膜机还包括循环水冷系统，循环水冷系统设有冷却水流动管，冷却水流动管布置在工件转架内，可对工件转架上所装挂工件进行冷却，在工件转架的一端设有传动轴，传动轴穿出镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过旋转水管接头与外部水源连接。本发明解决了不耐温工件连续镀膜时的温升问题，能对不耐温工件进行连续镀膜。

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机一般配置阴极电弧源或磁控溅射靶分区分立地安装在镀膜室侧壁上，向镀膜室内发射靶材镀料等离子体。镀膜室内装有工件转架，工件转架由电机带动转动，被镀工件吊挂或装夹在工件转架上，随着工件转架作公转和/或自转运动，这样工件通过靶前区时能从多角度接受靶发射的等离子体并沉积成膜。通过工件转架的转动可有效提高镀层均匀性。但在镀膜过程中由于工件不断接受荷能粒子的轰击，工件的温度不断提高，且在真空中散热效果很差，因此某些工件基体温升会超过其允许值(如塑胶)，当超过其允许值时只能中断镀膜过程，这会对于膜层连续生长造成不利影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题，就是提供一种真空镀膜机，解决了不耐温工件连续镀膜时的温升问题，能对不耐温工件进行连续镀膜。

解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在镀膜室内可转动地安装有工件转架，其特征是，所述真空镀膜机还包括循环水冷系统，循环水冷系统设有冷却水流动管，冷却水流动管布置在工件转架内，对工件转架进行冷却，在工件转架的一端设有传动轴，传动轴穿出镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过旋转水管接头与外部水源连接。

所述旋转水管接头包括旋转盖底座和旋转盖，旋转盖底座固定安装在传动轴的外端，旋转盖可转动的密封套装在旋转盖底座的外端，在旋转盖内面与旋转盖底座的外端之间形成连通腔，在旋转盖上设置有系统进水口和位于中间的系统出水口，系统进水口与连通腔连通，在旋转盖底座中设有进水通道和位于旋转盖底座中间的出水通道，进水通道的进水端与连通腔连通，进水通道的出水端与冷却水流动管的进水端连接，出水通道的出水端从旋转盖底座的外端穿出，并穿过连通腔，并可转动的密封插接在系统出水口的里端，出水通道的进水端与冷却水流动管的出水端连接。

在旋转盖底座内设有相互隔离开的上汇水腔和下汇水腔，上汇水腔通过连通孔与连通腔连通，进水通道的进水端与上汇水腔连通，出水通道的进水端与下汇水腔连通，下汇水腔再与冷却水流动管的出水端连通。

所述旋转盖底座的外侧壁与旋转盖的内侧壁之间通过第一轴承连接，且在旋转盖底座的外侧壁与旋转盖的内侧壁之间还设有用于密封的油封，油封位于连通腔与第一轴承之间。

在所述传动轴上安装有第一同步带轮，第一同步带轮位于镀膜室外边，在第一同步带轮的侧边通过固定架安装有减速箱，在减速箱的输出轴上安装有第二同步带轮，第一同步带轮与第二同步带轮通过同步带连接，减速箱的输入端与电机连接。

在所述镀膜室的上顶壁外安装有磁流体密封件，且磁流体密封件套于传动轴上，以达到动密封。

所述循环水冷系统设有多条冷却水流动管和分流盘，分流盘安装在工件转架内，在分流盘内设有进水分流道和出水汇流道，在分流盘的表面设有与进水分流道连通的分进水连接口和总进水连接口，在分流盘的表面还设有与出水汇流道连通的分出水连接口和总出水连接口，分进水连接口和分出水连接口的数量分别与冷却水流动管的数量相同，分进水连接口和分出水连接口分别与冷却水流动管的进水端和出水端连接，总进水连接口和总出水连接口分别与进水通道的出水端和出水通道的进水端连接。