[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 201811098957.9 | 申请日: | 2018-09-20 |
公开(公告)号: | CN109524452A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 山口元男 | 申请(专利权)人: | 株式会社电装 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/739;H01L21/331 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 陈松涛;夏青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 耐压区 电路元件 元件形成区 单元区 外周 半导体基板 半导体器件 边界区 主表面 耐压 电力元件 邻接 | ||
1.一种半导体器件,包括:
半导体基板,所述半导体基板具有主表面;
第一半导体区,所述第一半导体区为第一导电类型并且被设置在所述半导体基板的所述主表面上;以及
元件形成区和外周耐压区,所述元件形成区和外周耐压区二者被设置在所述半导体基板的所述主表面上,
其中,
所述元件形成区包括单元区和电路元件区二者,
所述单元区包括第二半导体区,所述第二半导体区为第二导电类型,并且被设置在所述第一半导体区的表面区中以形成电力元件,
所述电路元件区包括第三半导体区,所述第三半导体区为所述第二导电类型,并且被设置在所述第一半导体区的所述表面区中以形成至少一个电路元件,
所述电路元件区被插入在所述外周耐压区和所述单元区之间,
所述外周耐压区包括与所述元件形成区邻接的边界区,
所述边界区包括第四半导体区,所述第四半导体区为所述第二导电类型并且被设置在所述第一半导体区的所述表面区中,
在所述第四半导体区中,设置有一个或多个耐压区,并且
所述一个或多个耐压区中的至少一个具有比所述单元区的耐压和所述电路元件区的耐压二者都低的耐压。
2.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述一个或多个耐压区被设置成环绕整个所述元件形成区。
3.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述第四半导体区与所述第三半导体区一体形成,以便与所述第三半导体区是连续的。
4.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述一个或多个耐压区包括高浓度半导体区以及与所述高浓度半导体区连接的电极部分,所述高浓度半导体区为所述第二导电类型并且被设置在所述第四半导体区的表面区中。
5.根据权利要求4所述的半导体器件,其中,在所述单元区中,设置具有低电势电极和高电势电极的单元,所述低电势电极被设置在所述半导体基板的主表面侧上,所述高电势电极被设置在所述半导体基板的与所述主表面侧相对的侧上,并且
所述一个或多个耐压区的所述电极部分与所述单元的所述低电势电极连接。
6.根据权利要求5所述的半导体器件,其中,所述单元包括均构成所述电力元件的基本单元的第一单元以及不具有寄生晶体管结构的第二单元,并且
所述第二单元被设置成紧邻所述外周耐压区的所述边界区。
7.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,所述至少一个电路元件包括用于形成控制或保护所述电力元件的电路的多个电路元件。
8.根据权利要求1所述的半导体器件,其中,被设置在所述第四半导体区中的所述一个或多个耐压区包括多个耐压区,并且
所述多个耐压区的全部具有比所述单元区和所述电路元件区二者都低的耐压。
9.一种半导体器件,包括:
半导体基板,所述半导体基板具有主表面;
第一半导体区,所述第一半导体区为第一导电类型并且被设置在所述半导体基板的所述主表面上;以及
元件形成区和外周耐压区,所述元件形成区和外周耐压区二者被设置在所述半导体基板的所述主表面上,
其中,
所述元件形成区包括单元区和电路元件区二者,
所述单元区包括第二半导体区,所述第二半导体区为第二导电类型,并且被设置在所述第一半导体区的表面区中以形成电力元件,
所述电路元件区包括第三半导体区,所述第三半导体区为所述第二导电类型,并且被设置在所述第一半导体区的所述表面区中以形成至少一个电路元件,
所述单元区被设置成环绕所述电路元件区,
所述外周耐压区包括与所述元件形成区邻接的边界区,
所述边界区包括第四半导体区,所述第四半导体区为所述第二导电类型并且被设置在所述第一半导体区的所述表面区中,
在所述第四半导体区中,设置有一个或多个耐压区,并且
所述一个或多个耐压区中的至少一个具有比所述单元区的耐压和所述电路元件区的耐压二者都低的耐压。
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