[发明专利]磨针台驱动结构及全自动探针台在审

专利信息
申请号: 201811099677.X 申请日: 2018-09-20
公开(公告)号: CN109262412A 公开(公告)日: 2019-01-25
发明(设计)人: 韦日文;雷迪;林生财 申请(专利权)人: 深圳市矽电半导体设备有限公司
主分类号: B24B19/16 分类号: B24B19/16;B24B41/06;B24B47/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 磨针 探针 滑动连接 副支架 驱动结构 滑动 主支架 竖直 驱动 联动件 驱动件 工作台 半导体检测 工作台升降 人工打磨 台本发明 维护作业 影响检测 作业效率 持续性 副驱动 探针台 主驱动 检测 抵接 联动 支架 拆卸 保证
【权利要求书】:

1.一种磨针台驱动结构,包括滑动连接于所述磨针台(4)上的联动件,所述联动件与全自动探针台的工作台(3)连接时跟随工作台(3)运动以联动,还包括驱动联动件滑动的联动驱动件。

2.一种全自动探针台,其特征是:包括外壳(1),所述外壳(1)顶部设有探针(141),所述外壳(1)内设有基座(2),所述基座(2)上沿水平方向滑动连接有主支架(5),所述主支架(5)上沿水平方向滑动连接有副支架(6),所述副支架(6)的滑动方向与主支架(5)的滑动方向垂直,所述副支架(6)沿竖直方向滑动连接有工作台(3),所述基座(2)设有驱动主支架(5)滑动的主驱动件(51),所述主支架(5)上设有驱动副支架(6)滑动的副驱动件(61),所述副支架(6)上设有驱动工作台(3)升降以使工作台(3)与探针(141)抵接或分离的竖直驱动件,所述副支架(6)上沿竖直方向滑动连接有磨针台(4),还包括如权利要求1所述的磨针台驱动结构。

3.根据权利要求2所述的全自动探针台,其特征是:所述工作台(3)固定连接有朝向磨针台(4)延伸的提升件,所述工作台(3)下降至最低处时,所述联动件所在高度高于提升件所在高度,所述联动件完全伸出时部分位于提升件上方。

4.根据权利要求3所述的全自动探针台,其特征是:所述联动件设有弹性的卡块(451),所述提升件设有供卡块(451)卡入的卡槽(351)。

5.根据权利要求4所述的全自动探针台,其特征是:所述提升件以及联动件均处于最低处时,所述卡块(451)底部高度高于提升件顶部高度,所述提升件朝向联动件的一端为竖直平面。

6.根据权利要求5所述的全自动探针台,其特征是:所述卡槽(351)靠近联动件的侧壁沿朝向联动件的方向倾斜向上延伸。

7.根据权利要求6所述的全自动探针台,其特征是:所述磨针台(4)设有限制联动件朝向提升件滑动的弹性的限位件,所述联动件固定连接有触碰块(47),所述卡块(451)卡接在卡槽(351)内时,所述触碰块(47)抵接限位件。

8.根据权利要求3-7任一所述的全自动探针台,其特征是:所述提升件为水平延伸的提升板(33),所述联动件为水平延伸的联动板(43),所述提升板(33)以及联动板(43)相互抵接的表面水平延伸。

9.根据权利要求8所述的全自动探针台,其特征是:所述提升板(33)以及联动板(43)的板面均竖直设置。

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