[发明专利]磨针台驱动结构及全自动探针台

说明书

本发明涉及半导体检测领域，针对影响检测作业效率的问题，提供了一种磨针台驱动结构该技术方案如下：包括滑动连接于磨针台上的联动件、驱动联动件滑动的联动驱动件；一种全自动探针台，包括外壳、探针、基座，基座上滑动连接有主支架，主支架上滑动连接有副支架，副支架沿竖直方向滑动连接有工作台，基座设有驱动主支架滑动的主驱动件，主支架上设有驱动副支架滑动的副驱动件，副支架上设有驱动工作台升降以使工作台与探针抵接或分离的竖直驱动件，副支架上沿竖直方向滑动连接有磨针台，磨针台设有磨针台驱动结构。无需拆卸探针以及人工打磨探针，使得探针的维护作业效率较高，进而使得检测作业的持续性得到保证，提高了检测作业的效果。

技术领域

本发明涉及半导体检测领域，更具体地说，它涉及一种磨针台驱动结构及全自动探针台。

背景技术

全自动探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

全自动探针台检测时，通过探针分别与待检测的半导体元件的引脚连接以通电，进而检测半导体元件电路是否畅通，以挑选出不合格品。

探针由于长期通电，表面容易氧化，在使用一端时间后需要进行打磨，以保证其测量精度。

目前，通常采用拆卸探针并通过手工打磨的方式以对探针进行维护，但这种处理方式效率较低，严重影响检测作业的效率，因此，还有改善空间。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的第一目的在于提供一种磨针台驱动结构，具有检测效率高的优点。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种磨针台驱动结构，包括滑动连接于所述磨针台上的联动件，所述联动件与全自动探针台的工作台连接时跟随工作台运动以联动，还包括驱动联动件滑动的联动驱动件。

通过联动件与全自动探针台的工作台连接时跟随工作台运动，使得通过驱动全自动探针台的工作台运动即可联动磨针台，以使得磨针台打磨探针，使得探针无需拆卸，使得维护探针的效率较高。

针对现有技术存在的不足，本发明的第二目的在于提供一种全自动探针台，具有检测效率高的优点。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种全自动探针台，包括外壳，所述外壳顶部设有探针，所述外壳内设有基座，所述基座上沿水平方向滑动连接有主支架，所述主支架上沿水平方向滑动连接有副支架，所述副支架的滑动方向与主支架的滑动方向垂直，所述副支架沿竖直方向滑动连接有工作台，所述基座设有驱动主支架滑动的主驱动件，所述主支架上设有驱动副支架滑动的副驱动件，所述副支架上设有驱动工作台升降以使工作台与探针抵接或分离的竖直驱动件，所述副支架上沿竖直方向滑动连接有磨针台，还包括上述的磨针台驱动结构。

采用上述技术方案，通过联动驱动件驱动联动件朝向工作台滑动以使联动件与工作台连接，使得通过竖直驱动件驱动工作台上升时将带动磨针台上升，通过主驱动件驱动主支架滑动以及通过副驱动件驱动副支架滑动以调节磨针台与探针相对后，只需驱动主支架或副支架往复运动即可实现磨针台与探针相对运动，由于磨针台与探针抵接即实现通过磨针台对探针进行打磨，即可完成探针维护作业，由于无需拆卸探针以及人工打磨探针，使得探针的维护作业效率较高，进而使得检测作业的持续性得到保证，提高了检测作业的效果，同时无需再配制一套控制系统来控制磨针台的运动路径，控制成本，经济效益较佳。

优选的，所述工作台固定连接有朝向磨针台延伸的提升件，所述工作台下降至最低处时，所述联动件所在高度高于提升件所在高度，所述联动件完全伸出时部分位于提升件上方。