[发明专利]光测量装置和光测量方法

权利要求书

1.一种光测量装置，其为测量因对样品照射光而在该样品上产生的光的强度的装置，所述光测量装置的特征在于，包括：

照射部，其包含输出选自多个峰值波长中的任一个峰值波长的照射光的光源，将从所述光源输出的各个峰值波长的照射光在互不相同的照射期间照射于所述样品；

检测部，其包含与所述多个峰值波长一对一对应设置的多个光检测器，利用各光检测器接收因对应的峰值波长的照射光的照射而在所述样品上产生的产生光中的、在与所述照射光的照射方向不同的方向上发射的产生光，检测该接收的产生光的强度并输出检测信号；和

处理部，其具有共用地将从所述多个光检测器分别输出的检测信号作为模拟值输入的输入端子，并且被输入在所述光源输出各个峰值波长的照射光的照射期间输入到所述输入端子的模拟值，将与该模拟值对应的数字值作为表示因该峰值波长的照射光的照射而在所述样品上产生的产生光的强度的值输出。

2.如权利要求1所述的光测量装置，其特征在于：

所述照射部基于指示各个峰值波长的照射光的照射期间的同步信号，在互不相同的照射期间从所述光源输出各个峰值波长的照射光，

所述处理部基于所述同步信号进行从模拟值到数字值的转换处理。

3.如权利要求2所述的光测量装置，其特征在于：

还包括将所述同步信号输出到所述照射部和所述处理部的控制部。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光测量装置，其特征在于：

所述处理部包括：输出与输入到所述输入端子的检测信号的值对应的电压值的信号转换器；和将从所述信号转换器输出的电压值转换为数字值并输出该数字值的AD转换器。

5.如权利要求4所述的光测量装置，其特征在于：

所述信号转换器包括积分器，该积分器具有基于输入到所述输入端子的检测信号蓄积电荷的电容部，并输出与所蓄积的电荷量对应的电压值。

6.如权利要求5所述的光测量装置，其特征在于：

所述信号转换器包括作为第1积分器的所述积分器和作为第2积分器的所述积分器，

所述第1积分器和所述第2积分器，与所述多个峰值波长的照射光各自的照射期间同步地交替输入所述检测信号。

7.如权利要求1～6中任一项所述的光测量装置，其特征在于：

所述照射部包括具有输出光的峰值波长互不相同的多个发光元件的所述光源，从选自所述多个发光元件中的任一个发光元件输出照射光，并将该照射光照射于所述样品。

8.如权利要求1～6中任一项所述的光测量装置，其特征在于：

所述照射部包括输出光波长为可变的所述光源，从所述光源输出选自多个峰值波长中的任一个峰值波长的照射光，并将该照射光照射于所述样品。

9.一种光测量方法，其为测量因对样品照射光而在该样品上产生的光的强度的方法，所述光测量方法的特征在于，包括：

光照射步骤，在包含输出选自多个峰值波长中的任一个峰值波长的照射光的光源的照射部中，在互不相同的照射期间将从所述光源输出的各个峰值波长的照射光照射于所述样品；

光检测步骤，在包含与所述多个峰值波长一对一对应设置的多个光检测器的检测部中，利用各光检测器接收因对应的峰值波长的照射光的照射而在所述样品上产生的产生光中的、在与所述照射光的照射方向不同的方向上发射的产生光，检测该接收的产生光的强度并输出检测信号；和

信号处理步骤，在具有共用地将从所述多个光检测器分别输出的检测信号作为模拟值输入的输入端子的处理部中，输入在所述光源输出各个峰值波长的照射光的照射期间输入到所述输入端子的模拟值，将与该模拟值对应的数字值作为表示因该峰值波长的照射光的照射而在所述样品上产生的产生光的强度的值输出。