[发明专利]薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示面板

说明书

本发明涉及一种薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示面板。其中，薄膜封装结构，用于封装发光器件，包括：所述薄膜封装结构包括至少一层无机层，其中至少一所述无机层远离所述发光器件的表面经过氟等离子体处理形成表面疏水层。通过对最外层的无机层后采用氟等离子体对其表面进行处理，形成含氟的疏水层，降低薄膜封装结构对水的浸润性和氧气渗透率，提高整个封装结构的水氧阻隔效果，进而提高发光器件和显示面板的寿命，而且该方法操作简单、易控，具有较好的市场前景。

技术领域

本发明涉及显示器件的封装技术领域，特别是涉及一种薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示面板。

背景技术

随着资讯技术快速发展，现已可随时随地获取资讯、信息，而拥有便利、可移动性的便携式机器正大受欢迎。更加轻薄且便携式显示成为了携带型机器的基本条件，甚至设计更自由、不易碎、柔软且有韧性的柔性显示成为目前的主流。

有机电致发光二极管(OLED)由于其具有自发光、低功耗、响应速度快、视角宽、分辨力高、温度范围宽、高亮度、高对比度、抗振性能好、超薄等诸多优点。OLED凭借其技术优势，被公认为是继目前的发光二极管(LED)和液晶显示器(LCD)之后在显示和照明庞大的产业市场上的下一个明日之星。制作成各种柔性OLED，在柔性显示、照明等领域极具特点与竞争力。

OLED器件放置在空气中极易受到外界水氧气体的侵入，导致OLED器件性能受到影响，因此OLED器件完成后需要进行封装工艺，而对于柔性OLED来说，玻璃封装已然不能满足需求，目前业界采用最多的是薄膜封装(TFE)，薄膜封装一般采用有机/无机薄膜叠层制备，不仅可以达到一定的隔绝水氧作用，同时还可以提高顶发射OLED器件的出光效率。但是由于这种薄膜封装结构中位于最上面的一般是无机层，无机层一般通过化学气相沉积(CVD)的方式获得，难免会存在针孔等缺陷，外界的水汽能够通过针孔渗透到封装体的内部，导致阻隔外界水气的效果受到影响。因此，该技术还有待改进和发展。

发明内容

基于此，有必要提供一种薄膜封装结构，能够提高薄膜封装结构的水氧阻隔效果。

一种薄膜封装结构，用于封装发光器件，包括：

所述薄膜封装结构包括至少一层无机层，其中至少一所述无机层远离所述发光器件的表面经过氟等离子体处理形成表面疏水层。

上述薄膜封装结构，通过对无机层采用氟等离子体对其表面进行处理，氟等离子在无机层表面吸附，形成氟离子基团，从而形成含氟的表面疏水层，能够降低薄膜封装结构对水的浸润性和氧气渗透率，提高整个薄膜封装结构的水氧阻隔效果，进而提高发光器件和显示面板的寿命。

在其中一个实施例中，所述无机层为多层时，至少位于距离所述发光器件最远的所述无机层的表面经过氟等离子体处理形成表面疏水层。

在其中一个实施例中，所述薄膜封装结构包括至少两层层叠设置的无机层及设置在相邻两层所述无机层之间的有机层，至少位于最外层的所述无机层的表面经过氟等离子体处理形成表面疏水层。

在其中一个实施例中，所述无机层的厚度为500nm～2000nm，所述有机层的厚度为3000nm～12000nm。

在其中一个实施例中，所述氟等离子体的气体源为含氟气体，所述含氟气体选自NF₃、SiF₄、F₂和CF₄中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述无机层的主要成分选自氮化硅、氧化硅、氮氧化硅和氧化铝中的至少一种。

本发明另一目的在于提供一种薄膜封装结构的制备方法，包括以下步骤：

于发光器件上沉积至少一层无机层，对其中至少一所述无机层远离所述发光器件的表面进行氟等离子体处理，形成表面疏水层。