[发明专利]成膜掩膜有效
| 申请号： | 201811106536.6 | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109112476B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 水村通伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;王培超 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成膜掩膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种成膜掩膜，用于一边沿一个方向搬运基板一边经由形成于树脂制的膜片上的开口图案在上述基板上成膜，其特征在于，
上述开口图案具有开口朝向成膜源侧扩大的多对对置侧壁，所述多对对置侧壁的倾斜角度至少在上述成膜源侧不同，
在与上述基板的搬运方向交叉的方向上对置的一对对置侧壁相对于上述膜片的与上述成膜源侧的第一面构成相反侧的第二面的倾斜角度，比其他对置侧壁的相对于上述第二面的倾斜角度小。
2.根据权利要求1所述的成膜掩膜，其特征在于，
在上述膜片的上述成膜源侧的上述第一面层叠有金属掩膜，该金属掩膜设有对上述开口图案进行内包的大小的贯通孔。
3.根据权利要求1或2所述的成膜掩膜，其特征在于，
在上述膜片的上述第一面侧还具备框状的框架。
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