[发明专利]一种气浴装置的栅格板设计方法、栅格板、气浴装置及光刻机

权利要求书

1.一种气浴装置(20)的栅格板设计方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：确定所述栅格板(10)的初始的设计参数，所述栅格板(10)包括多个沿其长度方向间隔设置的栅格(13)；

S2：根据所述设计参数，建立气浴装置(20)的流体仿真模型，所述气浴装置(20)包括气浴入口(201)、气浴出口(202)以及气流腔，所述栅格板(10)设置在所述气流腔中；

S3：计算获得所述气浴出口(202)的流体数据；

S4：判断所述流体数据是否满足预设条件，如果是，执行S5；如果否，执行步骤S6；

S5：根据所述流体数据调整每个所述栅格(13)或部分所述栅格(13)的通风面积，更新所述设计参数并返回至S2；

S6：获取每个所述栅格(13)的最优通风面积，从而得到所述栅格板的最终设计参数；

在步骤S3之前，还包括：将所述气浴出口(202)划分为若干个依次连接的出口区域，所述出口区域的个数及位置与所述栅格(13)的个数与位置一一对应；

所述流体数据包括每个所述出口区域的区域平均流速数据；

步骤S5包括如下步骤：

S51：计算最大的区域平均流速超出预设平均流速的百分比A；

S52：根据所述百分比A确定所述最大的所述区域平均流速对应的所述栅格(13)的通风面积的缩小比例B；

S53：计算其余的每个待调整的所述栅格(13)对应的所述区域平均流速超出所述预设平均流速的百分比C；

S54：根据所述缩小比例B和所述每个所述区域平均流速的所述百分比C，确定每个对应的所述栅格(13)的通风面积的缩小比例D；

所述缩小比例B的计算为：

当所述百分比A满足：(n₁-1)×10％A≤n₁×10％时，所述缩小比例B＝1/(n₁+1)，其中，n₁为正整数；

所述缩小比例D的计算为：

当所述百分比C满足：(n₂-1)×10％C≤n₂×10％时，所述缩小比例D＝(n₁-n₂+1)/(n₁+1)，其中，n₂为正整数。

2.根据权利要求1所述的设计方法，其特征在于，初始的设计参数包括所述栅格板(10)的最大总通风面积、所述栅格板(10)中栅格(13)的个数以及每个所述栅格(13)的初始通风面积。

3.一种栅格板(10)，其特征在于，采用如权利要求1或2所述的设计方法形成。

4.一种气浴装置(20)，其特征在于，所述气浴装置(20)具有气流腔，所述气流腔内设置有如权利要求3所述的栅格板(10)，所述栅格板(10)与所述气流腔的气浴出口(202)正对设置。

5.一种光刻机，其特征在于，包含如权利要求4所述的气浴装置(20)。