[发明专利]基板检查装置及基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查装置，对形成有相互邻接并相向的第一配线与第二配线的基板进行检查，所述基板检查装置的特征在于包括：

第一探针，用于接触所述第一配线的一端部；

第二探针，用于接触所述第二配线的一端部；

电容测定部，经由所述第一探针及所述第二探针，而将所述第一配线与所述第二配线之间的静电电容作为线间电容来测定；以及

第一判定部，根据所述线间电容，来判定所述第一配线与所述第二配线中的至少一个的配线的状态，

当所述线间电容大于作为事先设定的范围的上限值的线间上限值时，所述第一判定部判定所述第一配线与所述第二配线中的至少一个的配线的线宽为粗。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

当所述线间电容小于作为事先设定的范围的下限值的线间下限值时，所述第一判定部判定所述第一配线与所述第二配线中的至少一个的配线的线宽为细或为断线不良。

3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

当所述线间电容小于作为事先设定的范围的下限值的线间下限值、且大于事先设定为比所述线间下限值小的值的线间辨别值时，所述第一判定部判定所述第一配线与所述第二配线中的至少一个的配线的线宽为细，且

当所述线间电容小于所述线间辨别值时，所述第一判定部判定所述第一配线与所述第二配线中的至少一个的配线为断线不良。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于还包括：

第一断线位置推断部，根据所述线间电容来推断断线的位置。

5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，

所述第一断线位置推断部根据所述线间电容与事先设定的线间基准电容的比，来推断断线的位置。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的基板检查装置，其特征在于，

所述电容测定部进而将以覆盖所述基板的一侧的面的方式相向配置的导体板与所述第一配线之间的静电电容作为配线电容来测定，且

所述基板检查装置还包括：第二判定部，根据所述配线电容来判定所述第一配线的状态。

7.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，

当所述配线电容大于作为事先设定的范围的上限值的配线上限值时，所述第二判定部判定所述第一配线的线宽为粗。

8.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，

当所述配线电容小于作为事先设定的范围的下限值的配线下限值时，所述第二判定部判定所述第一配线的线宽为细或为断线不良。

9.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，

当所述配线电容小于作为事先设定的范围的下限值的配线下限值、且大于事先设定为比所述配线下限值小的值的配线辨别值时，所述第二判定部判定所述第一配线的线宽为细，且

当所述配线电容小于所述配线辨别值时，所述第二判定部判定所述第一配线为断线不良。

10.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于还包括：

第三判定部，根据所述第一判定部的判定结果与所述第二判定部的判定结果，判定产生了由所述第一判定部所判定的状态的配线。

11.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于还包括：

第二断线位置推断部，根据所述配线电容来推断断线的位置。

12.根据权利要求11所述的基板检查装置，其特征在于还包括：

存储部，事先存储将所述第一配线的断线位置与对应于所述断线位置的所述配线电容建立对应的断线电容信息，且

所述第二断线位置推断部根据所述配线电容与所述断线电容信息，来推断断线的位置。