[发明专利]镀覆装置

权利要求书

1.一种镀覆装置，其特征在于，具有：

镀覆槽；

基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；

阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置，该阳极包含阳极电极和阳极保持架，所述阳极保持架以使所述阳极电极从设置于阳极保持架的矩形的第一开口部露出的方式保持所述阳极电极；以及

至少一个电场遮蔽体，该电场遮蔽体用于遮蔽从所述阳极朝向所述基板的电场的一部分，

所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场通过的矩形的第二开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述第二开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸，

所述电场遮蔽体具有一个或者多个第一遮蔽部件以及一个或者多个第二遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述第二开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部中的至少一方侧，所述第二遮蔽部件配置在所述第二开口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部中的至少一方侧，

所述电场遮蔽体具有配置在所述第二开口部的所述第一方向上的所述第一端部和所述第二端部中的至少一方侧的第一连杆部件，相对于配置在所述第一端部和所述第二端部中的至少一方侧的所述第一遮蔽部件通过销以能够旋转的方式连接的所述第一连杆部件与所述第一遮蔽部件一同形成第一连杆机构，通过所述第一连杆部件绕与所述阳极的露出面垂直的轴旋转，从而所述第一端部和所述第二端部中的至少一方侧的所述第一遮蔽部件平移移动。

2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体还具有基座，

配置在所述第一端部侧的所述第一遮蔽部件的一端以能够旋转的方式与所述第一连杆部件连接，

所述第一遮蔽部件的另一端以能够旋转的方式与第二连杆部件连接，该第二连杆部件以能够旋转的方式与所述基座连接，所述第二连杆部件与所述第一遮蔽部件一同形成第二连杆机构，

所述第一遮蔽部件通过所述第一连杆部件和所述第二连杆部件的旋转而平移移动，

所述基座是所述阳极保持架或者与所述阳极保持架不同的部件。

3.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体还具有基座，

在配置于所述第二开口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部的双方侧的所述第二遮蔽部件分别形成有长孔，

形成于第三连杆部件的两个销插入于各第二遮蔽部件的所述长孔中，该第三连杆部件相对于所述基座以能够旋转的方式连接，

通过所述第三连杆部件的旋转，使配置在所述第二开口部的所述第二方向上的第三端部侧的所述第二遮蔽部件与配置在所述第二开口部的所述第二方向上的第四端部侧的所述第二遮蔽部件彼此向相反方向移动，

所述基座是所述阳极保持架或者与所述阳极保持架不同的部件。

4.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体具有：

基座；

所述第二遮蔽部件，所述第二遮蔽部件配置在所述第二开口部的所述第二方向上的所述第三端部侧；

引导槽，该引导槽相对于所述基座固定；以及

引导销，该引导销相对于所述第一遮蔽部件固定，

通过使所述引导销沿着所述引导槽移动而引导所述第二遮蔽部件。

5.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体具有：

基座；

所述第二遮蔽部件，所述第二遮蔽部件配置在所述第二开口部的所述第二方向上的所述第三端部侧；

引导销，该引导销相对于所述基座固定；以及

引导槽，该引导槽相对于所述第一遮蔽部件固定，

通过使所述引导销沿着所述引导槽移动而引导所述第二遮蔽部件。

6.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述第一遮蔽部件配置在所述第二开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧，各端部处的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移动。