[发明专利]一种高温扩散炉体在审
| 申请号： | 201811112530.X | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109023530A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 薛慧敏;胡新军;梁晶晶 | 申请（专利权）人： | 胡新军 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 243000 安徽省马*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉管 进气口 高温扩散炉 进气法兰 排气法兰 保温层 排气口 扩散 保温效果 炉管尾部 内部安装 进气管 排气管 硅片 进气 炉盖 炉体 排气 匀气 | ||
1.一种高温扩散炉体，炉体包括炉管（1）和保温层（2），其特征在于：所述炉管（1）安装在保温层（2）内，所述炉管（1）端部设置炉盖（3），所述炉管（3）尾部设有进气口和排气口，所述进气口处安装进气法兰（4），所述进气法兰（4）上安装进气管（5），所述排气口安装排气法兰（6），所述排气法兰（6）上安装排气管（7），所述炉管（1）内部安装由匀气组件（8）。
2.根据权利要求1所述的一种高温扩散炉体，其特征在于：所述匀气组件（8）包括耐高温框架（9），在所述耐高温框架（9）一端设有进气部（10），所述耐高温框架（9）内设有第一匀气层（11）、第二匀气层（12）、第三匀气层（13），且所述第一匀气层（11）、第二匀气层（12）、第三匀气层（13）与耐高温框架（9）垂直交错布置，在所述耐高温框架（9）的另一端设有微孔材料层（14），所述微孔材料层（14）包括基材层（15）、粘合层（16）、聚四氟乙烯微孔膜层（17），所述基材层（15）通过粘合层（16）连接聚四氟乙烯微孔膜层（17），所述聚四氟乙烯微孔膜层（17）的微孔孔径为2微米-10微米。
3.根据权利要求1所述的一种高温扩散炉体，其特征在于：所述保温层（2）内填充耐高温保温材料，所述耐高温保温材料组分按重量份数包括陶瓷纤维10-20份、超高分子量聚乙烯5-15份、偏硅酸铝镁4-10份、硅酸镁3-9份、生石膏6-10份、膨润土6-12份、二氧化硅粉4-10份、包膜膨胀珍珠岩8-20份。
4.根据权利要求1所述的一种高温扩散炉体，其特征在于：所述进气管（5）上安装有第一流量调节阀（18）；所述排气管（7）上安装第二流量调节阀（19）。
5.根据权利要求1所述的一种高温扩散炉体，其特征在于：所述炉盖（3）内侧固定安装硅胶密封圈（20）。
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