[发明专利]一种热法电子级磷酸脱砷方法在审
申请号: | 201811115772.4 | 申请日: | 2018-09-25 |
公开(公告)号: | CN108910850A | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 李少平;杜林;王书萍;姜飞;贺兆波;张庭;冯凯;尹印 | 申请(专利权)人: | 湖北兴福电子材料有限公司 |
主分类号: | C01B25/238 | 分类号: | C01B25/238 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 成钢 |
地址: | 443007 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磷酸 脱砷 脱砷塔 电子级磷酸 碱液吸收 磷酸储槽 脱出 储罐 热法 大规模集成电路 保安过滤器 硫化钠溶液 高纯氮气 行业标准 通氮气 循环泵 加热 应用 | ||
1.一种热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,其脱砷步骤如下:
(1)向硫化钠溶液储罐中,加热后通氮气至储罐中无空气,加入磷酸进行反应;
(2)通过循环泵将磷酸打入脱砷塔,将步骤(1)生成的H2S通入脱砷塔中;
(3)将步骤(2)中脱砷塔内反应充分的磷酸经过滤器后,经高纯氮气脱H2S气体进入磷酸储槽;
(4)将步骤(3)中吹脱出的多余H2S气体用碱液吸收。
2.根据权利要求1所述的热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,步骤(1)、步骤(2)中磷酸质量浓度高于85%,纯度大于99.9999%。
3.根据权利要求1所述的热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,步骤(1)中调控Na2S的质量浓度控制为5%~20%。
4.根据权利要求1所述的热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,步骤(1)中反应温度为60-80℃,反应罐中压力为90~150KPa,当压力高于150KPa时停止加酸,低于90KPa时继续加酸。
5.根据权利要求1所述的热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,步骤(2)中硫化氢通入脱砷塔的流量为2000~5000L/h,通入时间为1~5h。
6.根据权利要求5所述的热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,步骤(2)将磷酸打入脱砷塔,当脱砷塔磷酸液位达到45%时,开启脱砷循环泵,将硫化氢以流量1000~3000 L/h通入脱砷塔,硫化氢通入时间1-5h。
7.根据权利要求1所述的热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,步骤(2)将磷酸打入脱砷塔,当脱砷塔磷酸液位达到45%时,开启脱砷循环泵,将硫化氢以流量1000~3000 L/h通入脱砷塔,硫化氢通入时间1-3h;当脱砷塔内磷酸液位达到85%时,关闭磷酸进料,待硫化氢通入完毕之后将磷酸打入混合槽,待混合槽内磷酸液位达到45%后,开启脱砷泵,将脱砷塔内的硫化氢以流量为2000~5000L/h通入混合槽,控制硫化氢通入时间为1-5h。
8.根据权利要求7所述的热法电子级磷酸脱砷方法,其特征在于,将步骤(2)中混合槽内反应充分的磷酸经过滤器过滤后,经高纯氮气脱H2S气体进入磷酸储槽;吹脱出的多余H2S气体用碱液吸收。
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