[发明专利]错误检测方法及制造设施

权利要求书

1.一种错误检测方法，适用于一半导体制造厂中，该错误检测方法包括：

沿一轨道传送一测试载车；

传送一巡逻载车至该测试载车的前方；

当该测试载车位于一检验区域内时，通过放置于该测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中该检验板以及该测试载车沿一平行于该轨道的一轴线配置，其中该检验板放置于该巡逻载车上，并且该检验区域是在相隔该巡逻载车的一既定距离内，其中该测试载车和该巡逻载车以相同的速度移动，使该测试载车保持在该检验区域内；

通过一分析系统对投射于该检验板的该测试信号进行一分析；以及

通过该分析系统根据该分析的结果检测出一异常时发出一警示警报，

其中该检验板包括一非反射区域以及反射区域，

其中该非反射区域由光吸收材料所制成，并且该反射区域相邻该非反射区域放置且由光反射材料制成，

其中该反射区域由该非反射区域所围绕，

其中该反射区域包括两个次区域，并且该两个次区域彼此隔开一既定距离，

其中该两个次区域各自包括由光反射材料所制成的一基板，并且该两个基板从该非反射区域突出。

2.如权利要求1所述的错误检测方法，其中对该测试信号所进行的该分析包括：

利用放置于该测试载车的一感测器接收由该检验板所反射的该测试信号，其中对该测试信号所进行的该分析是根据该感测器所产生的一检测信号而执行。

3.如权利要求1所述的错误检测方法，其中对该测试信号所进行的该分析包括：

利用放置于该测试载车的一感测器接收该测试信号，其中对该测试信号所进行的该分析是根据该感测器所产生的一检测信号而执行。

4.如权利要求1所述的错误检测方法，其中该轨道安装在该半导体制造厂房的一天花板上，并且该轨道具有一直线路径与一弯曲路径；

其中该测试载车由该轨道悬挂。

5.如权利要求1所述的错误检测方法，还包括当该警示警报发出时，派送该测试载车至一维护站进行一维护程序。

6.如权利要求1所述的错误检测方法，还包括当该警示警报发出时，关闭该换能器并启动一备用测量工具，以投射另一测试信号至该检验板。

7.如权利要求1所述的错误检测方法，其中该换能器包括用于投射一激光作为该测试信号的一激光发射器，或者该换能器包括用于投射一光束作为该测试信号的一发光二极管。

8.如权利要求1所述的错误检测方法，其中该异常表示与该测试信号相关的数据相异于一既定模式。

9.一种错误检测方法，适用于半导体制造厂房，该错误检测方法包括：

沿一轨道移动一测试载车；

传送一巡逻载车至该测试载车的前方；

通过一换能器向该测试载车的前方投射一测试信号并接收自一物体所反射的该测试信号，该物体位于该测试载车的前方，其中该测试载车和该巡逻载车以相同的速度移动，使该测试载车保持在一检验区域内，其中该检验区域是在相隔该巡逻载车的一既定距离内；

通过一分析系统对反射的该测试信号执行一分析，并根据该分析的结果检测出一异常时发出一警示警报；

当该警示警报发出，且该测试载车位于该轨道的该检验区域内时，继续移动该测试载车，停用被检测为出错的一或多个测量工具，并且启动相对应的备份测量工具，并且派送该测试载车至一维护站进行一维护程序；以及

当该警示警报发出，且该测试载车位于该轨道的该检验区域外时，停止移动该载车，

其中该物体包括一检验板，并且该检验板包括一非反射区域以及反射区域，

其中该非反射区域由光吸收材料所制成，并且该反射区域相邻该非反射区域放置且由光反射材料制成，

其中该反射区域包括两个次区域，并且该两个次区域彼此隔开一既定距离。

10.如权利要求9所述的错误检测方法，其中该轨道具有一直线路径与一弯曲路径。