[发明专利]错误检测方法及制造设施

说明书

本公开一实施例提供一种错误检测方法及制造设施，该错误检测方法适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道传送一测试载车至一检验区域。上述错误检测方法还包括当测试载车位于一检验区域内时，通过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误检测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误检测方法包括根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。

技术领域

本发明部分实施例涉及一种错误检测方法，特别涉及一种在半导体晶圆制造设施内的错误检测方法。

背景技术

自动材料处理系统(Automated material handling systems，AMHS)广泛应用于半导体制造厂(semiconductor fabrication facilities，FAB)中，以在晶圆制造中所使用的各种加工机器(即半导体工具)之间自动处理和传送多组或多批晶圆。AMHS是由电脑所控制，用于处理晶圆加工的步骤，以及在FAB中晶圆传送的流程。此外，AMHS还可用于在制造过程中自动处理和传输掩模在各种半导体工具之间。

AMHS通常包括多种类型的自动和手动传输机制，以在FAB内移动和运输用于在制造过程中存储晶圆或掩模的载具。前述传输机制可包括，举例而言，自动导引载车(automatic guided vehicle,AGV)、个人导引载车(personal guided vehicle,PGV)、轨道导引载车(rail guided vehicle,RGV)、高架穿梭机(overhead shuttles,OHS)和高架升降运输机(overhead hoist transports，OHT)。

在AMHS的前述传输机制中，OHT通常用于在加工流程中将元件载具或者掩模载具从一个半导体工具的负载端传输到下一个半导体工具的负载端。OHT系统包括至少一个在AMHS的高架轨道上行进的载车。载车升降机可操作以升高和降低元件载具或掩模载具，从而允许投送元件载具或掩模载具至半导体工具的负载端，或自半导体工具的负载端夹取元件载具或掩模载具，负载端位于地面并沿着高架轨道放置。

尽管现今在FAB内用于在制造过程中输送晶圆或掩模的OHT系统已经足够于预计的需求，但是并非在所有方面完全令人满意。

发明内容

本公开一实施例提供一种错误检测方法，适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道传送一测试载车至一检验区域。上述错误检测方法还包括当测试载车位于一检验区域内时，通过放置于测试载车上的一换能器投射一测试信号至一检验板，其中检验板以及测试载车沿一平行于轨道的一轴线配置。上述错误检测方法还包括对投射于检验板的测试信号进行一分析。另外，上述错误检测方法包括根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。

本公开另一实施例提供一种错误检测方法，适用于一半导体制造厂中。上述错误检测方法包括沿一轨道移动一测试载车。上述错误检测方法还包括向测试载车的前方投射一测试信号并接收自一物体所反射的测试信号，物体位于测试载车的前方。上述错误检测方法还包括对反射的测试信号执行一分析并根据分析的结果检测出一异常时发出一警示警报。另外，上述错误检测方法包括当警示警报发出，且测试载车位于轨道的一检验区域内时，继续移动载车；或者，当警示警报发出，且测试载车位于轨道的检验区域外时，停止移动载车。

本公开又一实施例提供一种制造设施。上述制造设施包括一轨道及可移动于轨道的一测试载车。上述制造设施还包括放置于测试载车的前方的检验板。检验板包括由光吸收材料所制成的非反射区域以及相邻非反射区域放置并且由光反射材料制成的反射区域。上述制造设施亦包括一测量工具，放置于测试载车，并配置用于传送一测试信号至检验板以及用于检测由反射区域所反射的测试信号。

附图说明

根据以下的详细说明并配合说明书附图做完整公开。应注意的是，根据本产业的一般作业，附图并未必按照比例绘制。事实上，可能任意的放大或缩小元件的尺寸，以做清楚的说明。