[发明专利]柔性基板的制作方法及柔性封装结构在审

专利信息
申请号: 201811126372.3 申请日: 2018-02-14
公开(公告)号: CN110164772A 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 龚云平;汪洋;刘洪 申请(专利权)人: 浙江清华柔性电子技术研究院
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/498;H05K1/18
代理公司: 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 代理人: 李萌
地址: 314000 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 柔性基板 制作 连接线路 柔性封装 衬底 连接线 介电绝缘层 布设
【权利要求书】:

1.一种柔性基板的制作方法,其特征在于:包括如下步骤,

提供一柔性衬底(10);

在所述柔性衬底(10)上制作第一凹槽(20);

在所述第一凹槽(20)内制作连接线路(30);

在所述连接线路(30)上制作介电绝缘层(40)。

2.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:通过激光烧结工艺或光刻及蚀刻工艺,在所述柔性衬底(10)上制作所述第一凹槽(20)。

3.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:通过打印或印刷工艺将所述连接线路(30)制作于所述第一凹槽(20)内,并通过固化工艺对连接线路(30)的材料进行固化。

4.如权利要求3所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:连接线路(30)为由导电油墨制作而成的连接线路(30),在将所述连接线路(30)制作于所述第一凹槽(20)内的步骤之前,该方法还可以包括,在所述第一凹槽(20)内涂覆溶液以形成浸润层。

5.如权利要求4所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:所述浸润层的材料与所述导电油墨内的溶剂的材料相同。

6.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:在制作所述介电绝缘层(40)的步骤中,该方法还包括,将所述介电绝缘层(40)的材料以溶液的形式涂覆于所述连接线路(30)上,经过加热固化后,在所述第一凹槽(20)内形成所述介电绝缘层(40)。

7.如权利要求5所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:在制作所述连接线路(30)的步骤中,所述连接线路(30)为导电油墨材料通过打印工艺制得的连接线路(30);所述介电绝缘层(40)制作完成后,该方法还包括对所述柔性衬底(10)的表面进行清洗。

8.如权利要求5所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:所述导电油墨为含有Ag、Gu、Au及C材料中的一种或多种,或Ag、Gu及Au中至少两种材料组成的合金的导电油墨。

9.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:所述介电绝缘层(40)的材料为聚酰亚胺、硅胶或聚甲基丙烯酸甲酯。

10.一种柔性封装结构,其特征在于:包括柔性基板,所述柔性基板由权利要求1至9中任一项所述的柔性基板的制作方法制成。

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