[发明专利]柔性基板的制作方法及柔性封装结构在审
申请号: | 201811126372.3 | 申请日: | 2018-02-14 |
公开(公告)号: | CN110164772A | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 龚云平;汪洋;刘洪 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498;H05K1/18 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 李萌 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性基板 制作 连接线路 柔性封装 衬底 连接线 介电绝缘层 布设 | ||
1.一种柔性基板的制作方法,其特征在于:包括如下步骤,
提供一柔性衬底(10);
在所述柔性衬底(10)上制作第一凹槽(20);
在所述第一凹槽(20)内制作连接线路(30);
在所述连接线路(30)上制作介电绝缘层(40)。
2.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:通过激光烧结工艺或光刻及蚀刻工艺,在所述柔性衬底(10)上制作所述第一凹槽(20)。
3.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:通过打印或印刷工艺将所述连接线路(30)制作于所述第一凹槽(20)内,并通过固化工艺对连接线路(30)的材料进行固化。
4.如权利要求3所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:连接线路(30)为由导电油墨制作而成的连接线路(30),在将所述连接线路(30)制作于所述第一凹槽(20)内的步骤之前,该方法还可以包括,在所述第一凹槽(20)内涂覆溶液以形成浸润层。
5.如权利要求4所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:所述浸润层的材料与所述导电油墨内的溶剂的材料相同。
6.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:在制作所述介电绝缘层(40)的步骤中,该方法还包括,将所述介电绝缘层(40)的材料以溶液的形式涂覆于所述连接线路(30)上,经过加热固化后,在所述第一凹槽(20)内形成所述介电绝缘层(40)。
7.如权利要求5所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:在制作所述连接线路(30)的步骤中,所述连接线路(30)为导电油墨材料通过打印工艺制得的连接线路(30);所述介电绝缘层(40)制作完成后,该方法还包括对所述柔性衬底(10)的表面进行清洗。
8.如权利要求5所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:所述导电油墨为含有Ag、Gu、Au及C材料中的一种或多种,或Ag、Gu及Au中至少两种材料组成的合金的导电油墨。
9.如权利要求1所述的柔性基板的制作方法,其特征在于:所述介电绝缘层(40)的材料为聚酰亚胺、硅胶或聚甲基丙烯酸甲酯。
10.一种柔性封装结构,其特征在于:包括柔性基板,所述柔性基板由权利要求1至9中任一项所述的柔性基板的制作方法制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造