[发明专利]对焦补偿的方法及其设备

权利要求书

1.一种对焦补偿的方法，其特征在于：所述对焦补偿的方法包含步骤：

(S11)提供一曝光机镜组，具有一焦点；

(S12)提供一待测物，对所述待测物以多个不同的对焦条件对多个线段的一轴线方向上的多个点进行量测多个线宽，以得到多个量测值，将所述多个量测值形成至少一线宽曲线；以及

(S13)依照所述至少一线宽曲线对所述曝光机镜组的一对焦作业进行补正。

2.如权利要求1所述的对焦补偿的方法，其特征在于：所述多个不同的对焦条件为将所述待测物置于多个不同焦平面下，并对所述待测物进行量测所述线宽。

3.如权利要求2所述的对焦补偿的方法，其特征在于：所述多个不同的对焦条件为将所述待测物置于五个焦平面下，其中所述五个焦平面为所述焦点-40微米、所述焦点-20微米、所述焦点、所述焦点+20微米及所述焦点+40微米。

4.如权利要求3所述的对焦补偿的方法，其特征在于：所述的步骤(S12)更包含：

将所述焦点处量测的一第一线宽与所述线宽曲线中的最低点处的一第二线宽相减，以得到一补偿值；及

利用所述补偿值对所述曝光机镜组的一对焦作业进行补正。

5.如权利要求1所述的对焦补偿的方法，其特征在于：所述的步骤(S12)更包含：

对所述多个线段的多个轴线方向上的多个点量测所述多个线宽，以得到多个线宽曲线；及

通过所述多个线宽曲线得到多个补偿值，以利用所述多个补偿值将所述曝光机镜组对所述多个线段的多个轴线方向上的多个点处的所述对焦作业进行补正。

6.一种对焦补偿的设备，其特征在于：所述对焦补偿的设备包含︰

一曝光机镜组，具有一焦点；

一待测物平台，配置用以放置一待测物，所述曝光机镜组对所述待测物以多个不同的对焦条件对多个线段的一轴线方向上的多个点进行量测多个线宽，以得到多个量测值；

一处理模组，配置用以将所述多个量测值形成至少一线宽曲线，并依照所述至少一线宽曲线生成一补偿信号；及

一通信模组，配置用以将所述补偿信号传送至所述曝光机镜组，以所述曝光机镜组的一对焦作业进行补正。

7.如权利要求6所述的对焦补偿的设备，其特征在于：所述待测物平台包含一高度调整机构，配置用以将所述待测物平台设置为不同高度，用于将所述待测物置于多个不同焦平面下，并对所述待测物进行量测所述线宽。

8.如权利要求7所述的对焦补偿的设备，其特征在于：所述高度调整机构具有五个不同高度对应于所述曝光机镜组的五个焦平面，所述五个焦平面分别为所述焦点-40微米、所述焦点-20微米、所述焦点、所述焦点+20微米及所述焦点+40微米。

9.如权利要求8所述的对焦补偿的设备，其特征在于：所述处理模组更配置用以将所述焦点处量测的一第一线宽与所述线宽曲线中的最低点处的一第二线宽相减，以得到一补偿值并转换成所述补偿信号。

10.如权利要求9所述的对焦补偿的设备，其特征在于：所述曝光机镜组更包含多个镜组，配置用以同时对所述多个线段的多个轴线方向上的多个点量测所述多个线宽，以得到多个线宽曲线；及

所述处理模组，配置用以通过所述多个线宽曲线得到多个补偿值，以利用所述多个补偿值将所述曝光机镜组对所述多个线段的多个轴线方向上的多个点处的所述对焦作业进行补正。