[发明专利]封装堆叠结构及其制法暨封装结构在审
申请号: | 201811140146.0 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN110797293A | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 林长甫;陈汉宏;萧人杰;林荣政;余国华;张宏达 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L23/488;H01L23/498 |
代理公司: | 11314 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 中国台湾台中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 线路结构 承载结构 承载件 导电元件 封装层 封装堆叠结构 封装结构 包覆 堆叠 翘曲 移除 制法 配置 | ||
一种封装堆叠结构及其制法暨封装结构,先提供一设有承载件的线路结构及一设有电子元件的承载结构,再将该线路结构以多个导电元件结合至该承载结构上,且形成封装层于该线路结构与该承载结构之间,以令该封装层包覆该些导电元件与该电子元件,之后移除该承载件,俾经由该承载件的配置,以强化该线路结构的结构强度,因而于堆叠该线路结构至该承载结构前,能避免该线路结构发生翘曲的问题。
技术领域
本发明有关一种半导体封装制程,尤指一种封装堆叠结构及其制法暨封装结构。
背景技术
随着半导体封装技术的演进,半导体装置(Semiconductor device)已开发出不同的封装型态,而为提升电性功能及节省封装空间,业界遂发展出堆叠多个封装结构以形成封装堆叠结构(Package on
Package,简称POP)的封装型态,此种封装型态能发挥系统封装(SiP)异质整合特性,可将不同功用的电子元件,例如:记忆体、中央处理器、绘图处理器、影像应用处理器等,经由堆叠设计达到系统的整合,而适用于各种轻薄短小型电子产品。
图1为悉知封装堆叠结构1的剖面示意图。如图1所示,该封装堆叠结构1包含有第一半导体元件10、第一封装基板11、第二封装基板12、多个焊球13、第二半导体元件14以及封装胶体15。该第一封装基板11具有核心层110与多个线路层111,且该第二封装基板12具有核心层120与多个线路层121。该第一半导体元件10以覆晶方式设于该第一封装基板11上,且该第二半导体元件14也以覆晶方式设于该第二封装基板12上。该些焊球13用以连结且电性耦接该第一封装基板11与该第二封装基板12。该封装胶体15包覆该些焊球13与该第一半导体元件10。可选择性地,形成底胶16于该第一半导体元件10与该第一封装基板11之间。
惟,前述悉知封装堆叠结构1中,第一封装基板11与第二封装基板12皆具有核心层110,120,导致其制作成本高,且该封装堆叠结构1的厚度H约为620微米,不符现今产品轻薄短小化的需求。
因此,如何克服上述悉知技术的种种问题,实已成为目前业界亟待克服的难题。
发明内容
鉴于上述悉知技术的缺失,本发明提供一种封装堆叠结构及其制法暨封装结构,能避免该线路结构发生翘曲的问题。
本发明的封装堆叠结构,包括:承载结构,其定义有相对的第一侧与第二侧,其中,该承载结构的第一侧设有至少一电子元件;以及线路结构,其具有相对的第一表面与第二表面,且该第一表面设有承载件,而该第二表面以多个导电元件结合至该承载结构的第一侧上。
前述的封装堆叠结构中,复包括封装层,其形成于该线路结构与该承载结构之间,以包覆该些导电元件与该电子元件。
本发明还提供一种封装堆叠结构的制法,包括:提供一设有承载件的线路结构及一承载结构,其中,该承载结构定义有相对的第一侧与第二侧,且该承载结构的第一侧设有至少一电子元件;将该线路结构以多个导电元件结合至该承载结构的第一侧上,且形成封装层于该线路结构与该承载结构之间,以令该封装层包覆该些导电元件与该电子元件;以及移除该承载件。
前述的制法中,该些导电元件先设于该线路结构上,再将该线路结构以该些导电元件结合至该承载结构上。
前述的制法中,该些导电元件先设于该承载结构上,再将该线路结构以该些导电元件结合至该承载结构上。
前述的制法中,该线路结构于结合该承载结构前为已切单型态,该承载结构于结合该线路结构前为整版面型态。
前述的制法中,该线路结构于结合该承载结构前为整版面型态,该承载结构于结合该线路结构前为整版面型态。
前述的制法中,该线路结构于结合该承载结构前为整版面型态,该承载结构于结合该线路结构前为已切单型态。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于矽品精密工业股份有限公司,未经矽品精密工业股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811140146.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:承载装置、工艺腔室和半导体处理设备
- 下一篇:一种硅晶圆连续提取装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造