[发明专利]半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质

权利要求书

1.一种半导体产品良率分析系统，其特征在于，包括：

备注设置装置，其被配置为预设多种备注方式以及选取一种备注方式，所述预设的多种备注方式包括lot ID、时间、特殊情况以及产品异常通知，所述lot ID为货批名称或货批批号，所述特殊情况包括特殊工作需求实验、临时工程变更通知和工程更改通知中的至少一种；

输入装置，其被配置为根据所述备注方式，输入需备注的货批名单；

备注装置，其被配置为给所述货批名单中的所有货批添加备注；以及，

输出装置，其被配置为关联所有货批的制程和量测数据系统，并输出具有所述备注对应的所述货批的信息，以及，根据所述信息输出统计分析报告，且所述备注与所述统计分析报告相关联，进而根据所述统计分析报告，从所述货批名单中找出最有可能导致良率变化的原因的货批。

2.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输出装置进一步被配置为输出包含货批批号和所述备注在内的所有货批的信息为一信息表格，选择所述信息表格中的任一所述货批对应的备注能链接输出对应的所述统计分析报告。

3.如权利要求2所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述信息表格中的信息还包含添加所述备注的用户、所述备注的更新时间、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间、目前具有所述备注的所有货批中还在生产线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已经进入或者已经完成测试阶段的测试货批数量，以及，具有所述备注的所有货批的总数量中的至少一种。

4.如权利要求3所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述统计分析报告中的统计信息包括在当前时刻之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值、在当前时刻之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值、具有所述备注的各个所述货批的目前进程、以及，具有所述备注并已经完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势中的至少一种。

5.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输入装置进一步被配置为输入具有所述备注的任一所述货批的相关资料，所述输出装置进一步被配置为输出具有所述备注的任一所述货批的所述相关资料，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关。

6.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输入装置进一步被配置为输入需要查询的所述备注，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置输入的所述备注输出具有所述备注的所有货批的信息；和/或，所述输入装置进一步被配置为输入需要查询的货批的名称或货批批号，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置输入的所述货批的名称或货批批号，输出所述货批的名称或货批批号对应的所述货批的信息表格，所述信息表格中包含所述货批的所有的备注。

7.如权利要求1所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，所述输入装置进一步被配置为选择需要输出所述统计分析报告的货批，所述输出装置进一步被配置为根据所述输入装置选择的所述货批输出对应的所述统计分析报告。

8.如权利要求1至7中任一项所述的半导体产品良率分析系统，其特征在于，还包括用户界面装置，其被配置为向用户提供操作所述输入装置、所述备注设置装置、所述备注装置以及所述输出装置的界面，以及向用户展示所述输入装置输入的数据、所述备注设置装置预设和选取的备注方式、所述备注装置添加的备注以及所述输出装置输出的结果。