[发明专利]半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质

说明书

本发明提供一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析,从而在缩短良率分析时间的同时提高良率分析效率。

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，尤其涉及一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质。

背景技术

随着半导体存储器件(如动态随机存取存储器(DRAM))变得高度集成，器件工艺也越发复杂，因此，需要采用先进的量测技术对复杂的器件制造过程进行管控，目前，对量测出的数据仍采用人工统计及分析的方法，采用此方法对良率进行分析速度慢，效率低。特别地，当制程过程中的异常或制程工艺的变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况从而导致货批(Lot)良率异常时，无法对其良率进行快速有效的分析及监控。因此，需要一种新的半导体产品良率分析系统及方法，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批(key Lot)进行备注并加以统计分析,以在缩短良率分析时间的同时提高良率分析效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体产品良率分析系统及分析方法和计算机存储介质，能够通过对产品在制程过程中发生的机台的异常或制程工艺的改进变更或量测数据超过工艺规格等特殊情况进行记录，还能够自动对关键性的货批进行备注并加以统计分析,以在缩短良率分析时间的同时提高良率分析效率。

为了实现上述目的，本发明提供一种半导体产品良率分析系统，包括：

备注设置装置，其被配置为预设多种备注方式以及选取一种备注方式；

输入装置，其被配置为根据所述备注方式，输入需备注的货批名单；

备注装置，其被配置为给所述货批名单中的所有货批添加备注；以及，

输出装置，其被配置为关联所有货批的制程和量测数据系统，并输出具有所述备注对应的所述货批的信息，以及，根据所述信息输出统计分析报告，且所述备注与所述统计分析报告相关联。

可选地，所述预设的多种备注方式包括货批名称或货批批号、时间、特殊情况以及产品异常通知，所述特殊情况包括特殊工作需求实验、临时工程变更通知和工程更改通知中的至少一种。

可选地，所述输出装置进一步被配置为输出包含货批批号和所述备注在内的所有货批的信息为一信息表格，选择所述信息表格中的任一所述货批对应的备注能链接输出对应的所述统计分析报告。

可选地，所述信息表格中的信息还包含添加所述备注的用户、所述备注的更新时间、具有所述备注的所有货批中最早完成测试的时间或预计时间、具有所述备注的所有货批中最晚完成测试的时间或预计时间、目前具有所述备注的所有货批中还在生产线上且还没有进入测试阶段的线上货批数量、目前具有所述备注的所有货批中已完成所有制程且等待或已经进入或者已经完成测试阶段的测试货批数量，以及，具有所述备注的所有货批的总数量中的至少一种。

可选地，所述统计分析报告中的统计信息包括在所述备注时刻之后的至少一个设定时间段内预估的所述线上货批数量与所述总数量的比值、在所述备注时刻之后的至少一个时间段内预估的所述测试货批数量与所述总数量的比值、具有所述备注的各个所述货批的目前进程、以及，具有所述备注并已经完成测试阶段的所有货批的良率变化趋势中的至少一种。

可选地，所述输入装置进一步被配置为输入具有所述备注的任一所述货批的相关资料，所述输出装置进一步被配置为输出具有所述备注的任一所述货批的所述相关资料，所述相关资料与所述货批的信息以及所述备注相关。