[发明专利]一种薄膜蒸镀装置

权利要求书

1.一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：包括燃烧炉(1)、加工箱(2)、封堵机构(3)、液压杆(4)、真空泵(5)、流通板(6)、工件安装机构(8)以及夹持机构(9)，所述燃烧炉(1)的顶部设有所述加工箱(2)，所述加工箱(2)的顶部两侧壁设有所述液压杆(4)，所述液压杆(4)的端部连接所述封堵机构(3)；所述封堵机构(3)用以对所述加工箱(2)的顶端进行封堵控制，所述液压杆(4)用以带动所述封堵机构(3)上下运动；所述封堵机构(3)的侧壁连接有所述工件安装机构(8)，所述工件安装机构(8)的底面设有所述夹持机构(9)，所述夹持机构(9)用以固定工件；所述封堵机构(3)的底端转动连接所述流通板(6)，所述流通板(6)用以方便蒸汽流通；所述燃烧炉(1)的侧壁与所述真空泵(5)连通；

所述封堵机构(3)包括封闭板(31)、连接板(32)、橡胶塞(33)、转动电机(34)、安装座(35)以及传动杆(36)，所述连接板(32)固定于所述液压杆(4)的顶端，所述连接板(32)对称设于所述封闭板(31)的两侧壁，所述封闭板(31)的底面设有所述橡胶塞(33)，所述橡胶塞(33)嵌入于所述加工箱(2)的顶端，所述橡胶塞(33)的底面设有所述转动电机(34)，所述转动电机(34)转动连接所述安装座(35)，所述安装座(35)的底面中心处垂直设有所述传动杆(36)；

所述安装座(35)的两侧壁均开有限位槽(351)，所述限位槽(351)的内部封闭端设有电磁铁(352)；

所述工件安装机构(8)包括安装板(81)、滑柱(82)以及把手(83)，所述滑柱(82)滑动嵌入于所述限位槽(351)的内部，所述滑柱(82)与所述电磁铁(352)相对的一端设有磁铁(821)，所述磁铁(821)与所述电磁铁(352)配合连接，所述滑柱(82)设于所述安装板(81)的侧壁，所述安装板(81)与所述传动杆(36)垂直分布，所述安装板(81)的顶面设有所述把手(83)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述加工箱(2)的内部底层设有储料槽(21)，所述加工箱(2)的侧壁配合连接有加料板(7)，所述加料板(7)位于所述储料槽(21)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述夹持机构(9)呈矩形阵列分布于所述安装板(81)的底面，所述夹持机构(9)包括第一固定板(91)、第二固定板(92)以及夹持螺钉(93)，所述第一固定板(91)、所述第二固定板(92)间隔垂直设于所述安装板(81)的底面，所述夹持螺钉(93)贯穿于所述第一固定板(91)，所述第一固定板(91)、所述第二固定板(92)之间设于基板主体(9a)，所述夹持螺钉(93)的端部与所述基板主体(9a)的侧面贴合。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜蒸镀装置，其特征在于：所述流通板(6)的内部开有若干的通气孔(61)，所述流通板(6)的底面与所述通气孔(61)相对安装有电磁阀(62)，所述流通板(6)的表面中心处转动连接所述传动杆(36)，所述流通板(6)的侧壁与所述加工箱(2)的内壁紧密贴合。