[发明专利]一种薄膜蒸镀装置

说明书

本发明涉及镀膜加工设备技术领域，具体的说是一种薄膜蒸镀装置，包括燃烧炉、加工箱、封堵机构、液压杆、真空泵、流通板、工件安装机构以及夹持机构，本发明安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便；在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量。

技术领域

本发明涉及镀膜加工设备技术领域，具体的说是一种薄膜蒸镀装置。

背景技术

蒸发镀膜常称真空镀膜，其特点是在真空条件下，材料蒸发并在玻璃表面上凝结成膜，再经高温热处理后，在玻璃表面形成附着力很强的膜层。

在进行薄膜蒸镀加工时，需要保证加工箱内处于真空状态，而当加工人员更换加工件时，外界空气便会充满整个加工箱内并且还可使得内部蒸发分子流失，使得后续加工时真空泵的工作量较大，还需要再次加热蒸发补充新的蒸发气体；单次加工的工件数目较少，并且更换过程更为费时费力。鉴于此，本发明提供了一种薄膜蒸镀装置，其具有以下特点：

(1)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便。

(2)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量，并且流通板还可对其底部区域的蒸发气体进行封堵，避免其流失。

(3)本发明所述的一种薄膜蒸镀装置，转动电机可带动基板转动，使得基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好，镀膜更为均匀。

发明内容

针对现有技术中的问题，本发明提供了一种薄膜蒸镀装置，安装板与安装座之间为可拆卸连接，并且每个安装板的底面均呈矩形阵列分布有夹持机构，每个夹持机构都对应固定有基板，使得单次加工的基板数量更多，并且在上一组基板在加工时，工作人员可将下几组基板夹持固定好，当上一组加工完毕后，可立即将工件拆卸并更换上新的，操作简便；在流通板向上运动的过程中，流通板能够始终对流通板的底部进行封堵，从而保证流通板的底部区域始终处于真空状态，从而减少加工箱内的空气进入量，减少后期真空泵的工作量；转动电机可带动基板转动，使得基板的各个面均能够与蒸发出来的原子或分子充分接触，使得镀膜效果更好，镀膜更为均匀。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种薄膜蒸镀装置，包括燃烧炉、加工箱、封堵机构、液压杆、真空泵、流通板、工件安装机构以及夹持机构，所述燃烧炉的顶部设有所述加工箱，所述加工箱的顶部两侧壁设有所述液压杆，所述液压杆的端部连接所述封堵机构；所述封堵机构用以对所述加工箱的顶端进行封堵控制，所述液压杆用以带动所述封堵机构上下运动；所述封堵机构的侧壁连接有所述工件安装机构，所述工件安装机构的底面设有所述夹持机构，所述夹持机构用以固定工件；所述封堵机构的底端转动连接所述流通板，所述流通板用以方便蒸汽流通；所述燃烧炉的侧壁与所述真空泵连通。

具体的，所述加工箱的内部底层设有储料槽，所述加工箱的侧壁配合连接有加料板，所述加料板位于所述储料槽的顶部。