[发明专利]一种石墨基座

权利要求书

1.一种石墨基座，所述石墨基座上设有用于容纳衬底的多个口袋，每个所述口袋的边缘设有用于将所述衬底悬置在所述口袋内的凸块，其特征在于，所述凸块围成的区域内与所述石墨基座的中心之间的距离最远的部分设有凹槽；所述口袋的底面上设有所述凹槽的区域与所述口袋内悬置的衬底之间的距离，大于所述口袋的底面上没设置所述凹槽的区域与所述口袋内悬置的衬底之间的距离。

2.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽的深度沿从所述石墨基座的中心向外延伸的方向逐渐增大。

3.根据权利要求1所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽的深度从所述凸块围成的区域内与所述石墨基座的中心之间的距离最远的点，沿所述凸块围成的区域的边缘逐渐减小。

4.根据权利要求2或3所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽的深度的最大值为25μm～30μm。

5.根据权利要求1～3任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽的宽度从所述凸块围成的区域内与所述石墨基座的中心之间的距离最远的点，沿所述凸块围成的区域的边缘逐渐减小。

6.根据权利要求5所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽的宽度的最大值为3mm～10mm。

7.根据权利要求1～3任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽在所述凸块围成的区域的边缘的两端与所述石墨基座的中心的连线之间的夹角为30°～60°。

8.根据权利要求1～3任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽在所述凸块围成的区域的边缘的两端与所述凹槽的边缘之间的夹角为1.5°～3°。

9.根据权利要求1～3任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述凹槽内与所述石墨基座的中心之间的距离最近的点与所述凹槽的边缘之间的夹角为10°～25°。

10.根据权利要求1～3任一项所述的石墨基座，其特征在于，所述口袋的边缘与所述石墨基座的中心之间的距离最远的部分设有挡块。