[发明专利]一种太阳能外延结构、太阳能电池及制备方法在审
申请号: | 201811154326.4 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN110970510A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 罗轶 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/18 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 王立民;周放 |
地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能 外延 结构 太阳能电池 制备 方法 | ||
本发明公开了一种太阳能外延结构、太阳能电池及制备方法,通过将基层生长为具有V型槽的外延层,然后生长发射层、窗口层和接触层,这种V型槽结构有利于减小空穴从基层向发射层传输的距离,从而降低载流子复合几率,同时,这种V型槽结构,又能减少光的反射,增加光在电池结构里传输路程,提高光吸收效率,进而提高电池光电转化效率。
技术领域
本发明涉及太阳能电池领域,尤其涉及一种太阳能外延结构、太阳能电池及制备方法。
背景技术
砷化镓GaAs禁带宽度1.43ev,是吸收太阳光最优选材料之一,由砷化镓制备的太阳能电池,具有转化效率高、温度特性好,抗辐射能力强等特点,且随着金属有机化合物气相沉积(MOCVD)和分子束外延(MBE)等技术的发展,GaAs太阳能电池应用越来越广泛。
目前MOCVD外延生长的GaAs太阳能电池结构主要包括在衬底上生长缓冲层,背场层,基层,发射层,窗口层和接触层。其中基层主要为光吸收层,提高吸收层空穴与电子分离效率能有效改善太阳能电池的转化效率,但是目前的GaAs单结太阳能电池,基层厚度一般1-3μm,远大于载流子传输距离,这就增加了空穴和电子复合几率,另外,平面结构的吸收层,存在较多光的反射,影响光吸收效率。
发明内容
本发明的目的是提供一种太阳能外延结构、太阳能电池及制备方法,以解决现有技术中的问题,降低载流子复合几率,提高光吸收效率。
一方面,本发明提供一种太阳能外延结构,所述太阳能外延结构包括依次重叠设置的背场层、基层、发射层、窗口层和接触层,所述基层和所述发射层分别包括至少一个V型槽,所述基层的V型槽的开口朝向所述发射层,所述发射层的V型槽的开口方向朝向所述窗口层。
可选择地,所述基层、所述发射层的V型槽相互重叠。
可选择地,所述窗口层还包括至少一个所述V型槽。
可选择地,所述窗口层的V型槽与所述基层和所述发射层的V型槽相互重叠。
可选择地,所述接触层还包括至少一个所述V型槽。
可选择地,所述接触层的V型槽与所述基层、所述发射层和所述窗口层的V型槽相互重叠。
可选择地,所述基层的V型槽开口的尺寸为0-1μm,V型槽的深度为0-3μm。
可选择地,所述背场层上生长有至少一条穿透所述背场层的位错,所述基层的V型槽的定点与穿透所述背场层的位错相对应。
可选择地,所述太阳能外延结构还包括衬底,所述衬底设置在所述背场层远离基层的一侧。
另一方面,本发明提供一种太阳能电池,所述太阳能电池包括太阳能外延结构、正面电极、减反射膜和背面电极,所述背面电极设置在背场层上远离基层的一侧,所述减反射膜设置在接触层远离窗口层的一侧,所述正面电极设置在减反射膜远离接触层一侧,所述太阳能外延结构第一方面的任一项所述。
另一方面,本发明提供一种太阳能外延结构的制备方法,所述制备方法包括:
在第一温度状态下按照第一生长速率生长背场层,所述背场层包括穿透所述背场层的位错;
在第二温度状态下在所述背场层上生长基层第一时间段,在第三温度状态下继续生长基层,所述背场层上生长的基层包括V型槽;
在第四温度状态下在所述基层上生长发射层,所述基层上生长的发射层包括与所述基层的V型槽重叠的V型槽;
在第五温度状态下在所述发射层上生长窗口层;
在第六温度状态下在所述窗口层上生长接触层。
可选择地,所述第一温度为400-1000摄氏度之间的任意温度。
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