[发明专利]一种磁控管用可伐合金的筛选工艺

权利要求书

1.一种磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述筛选工艺包括下述步骤：对可伐合金依次进行退火处理；高低温交替处理；显微组织检查，剔除不合格品；真空气密性检查；真空除气处理；所述退火处理的具体操作为：先将可伐合金加热至830-870℃，保温至少30min；接着降温至130-170℃，保温至少30min；接着升温至930-970℃，保温至少60min；接着降温至130-170℃，保温至少30min；接着升温至1030-1070℃，保温至少30min；接着降温至130-170℃，保温至少30min；接着升温至1080-1120℃，保温至少15min；接着降温至130-170℃，保温至少30min；最后冷却至室温。

2.根据权利要求1所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述退火处理在氢气的气氛中进行。

3.根据权利要求1所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述降温的速度为不大于5℃/min。

4.根据权利要求1-3任一项所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述高低温交替处理的具体操作为：先将可伐合金降温至-60到-70℃，保温至少60min；接着升温至80-90℃，保温至少30min；接着降温至-70到-80℃，保温至少120min；接着升温至80-90℃，保温至少30min；接着降温至-80到-90℃，保温至少120min；接着升温至80-90℃，保温至少30min；最后冷却至室温。

5.根据权利要求4所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述高低温交替处理中的降温的速度为5-8℃/min；所述高低温交替处理中的升温的速度为5-8℃/min。

6.根据权利要求1或2所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述显微组织检查的具体操作为：将可伐合金置于300-400倍的显微镜下进行观察；所述显微组织检查中，不合格为可伐合金边缘存在总面积大于10%由奥氏体转变而来的马氏体。

7.根据权利要求1或2所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述真空气密性检查的具体操作为：在一批次可伐合金中抽取样品，将样品制作成薄片，进行真空气密性检查；若样品的真空漏率不大于10^-11Pa.L/S，则该批次均不合格；所述样品的数量为3-7份；所述薄片的厚度为0.3-0.7mm，直径为15-25mm。

8.根据权利要求1或2所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述真空除气处理的具体操作为：先将可伐合金加热至380-420℃，保温至少30min；接着升温至480-520℃，保温至少60min；接着升温至530-570℃，保温至少60min；最后冷却至室温。

9.根据权利要求1或2所述磁控管用可伐合金的筛选工艺，其特征在于，所述真空除气处理的操作中，真空度为10^-6pa。