[发明专利]一种气压驱动精密微泵

权利要求书

1.一种气压驱动精密微泵，其特征在于：包括

气压模块，包括气囊；

单向阀组，包括第一单向阀和第二单向阀，所述第一单向阀的入口通向外界大气，出口通向所述气囊，所述第二单向阀的入口通向气囊，出口通向蓄液模块；

蓄液模块，包括空腔和蓄液池，所述空腔与蓄液池之间通过第一弹性膜片间隔，所述空腔为封闭腔体，所述蓄液池通过第二单向阀与所述气囊连接；

调流模块，包括第一流道和第二流道，所述第一流道和第二流道均连通所述蓄液池，所述第一流道出口封闭，所述第二流道出口通向调流模块外，所述第一流道和所述第二流道通过第二弹性膜片间隔。

2.根据权利要求1所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述气囊由底板和曲面壁围成，所述曲面壁为弹性材料，所述底板上设有外孔、第一内孔和第二内孔，所述外孔连通所述第一单向阀的入口，所述第一内孔连接所述第一单向阀的出口，所述第二内孔连接所述第二单向阀的入口。

3.根据权利要求1或2所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述第一单向阀和所述第二单向阀均包括气流通道、第三弹性膜片和凸台，所述凸台设置在所述气流通道的内壁，所述第三弹性膜片横跨于所述气流通道内，所述第三弹性膜片一侧固定连接所述气流通道内壁，一侧贴合在所述凸台上。

4.根据权利要求1所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述调流模块包括总流道、第一流道和第二流道，所述蓄液池内的液体流经总流道后分流为第一流道和第二流道，所述第二弹性膜片设置在所述第二流道侧壁上，所述第一流道通向所述第二弹性膜片，增加所述第一流道的压力，所述第二弹性膜片向所述第二流道弯曲。

5.根据权利要求1所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述第二弹性膜片在受到流体压力时能够发生形变位移量，所述形变位移量大于膜片自身厚度的5倍，所述流体压力小于30kPa。

6.根据权利要求3所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述第三弹性膜片在受到流体压力时能够发生形变位移量，所述形变位移量大于膜片自身厚度的5倍。

7.根据权利要求3所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述第一弹性膜片、第二弹性膜片、第三弹性膜片和气囊的材质均为聚二甲基硅氧烷。

8.根据权利要求7所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述聚二甲基硅氧烷中预聚体和交联体的质量比为20:1。

9.根据权利要求1所述的气压驱动精密微泵，其特征在于：所述微泵采用微流控中的软光刻技术制作，材质为聚二甲基硅氧烷。