[发明专利]一种N型多晶硅双面电池制备方法在审
申请号: | 201811172452.2 | 申请日: | 2018-10-09 |
公开(公告)号: | CN109244190A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 廖晖;包健;徐冠群;李明;左严严;金浩;张昕宇 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/068 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 背表面 去除 双面电池 制备 多晶硅锭 吸杂层 正表面 吸杂 背面 多晶硅片 少子寿命 转换效率 钝化层 磷扩散 硼扩散 电极 制绒 切割 扩散 申请 生产 | ||
本发明公开了一种N型多晶硅双面电池制备方法,包括:对制绒后的N型硅片进行硼扩散,并去除N型硅片背表面所形成的背面P+层,N型硅片为通过对多晶硅锭的尾部进行切割得到的多晶硅片;对去除背面P+层的N型硅片进行背表面扩散吸杂处理,并去除吸杂层;对去除吸杂层的N型硅片的背表面进行磷扩散;去除N型硅片表面所形成的PSG,在N型硅片的正表面和背表面分别制备钝化层,并在N型硅片的正表面和背表面分别制备电极。本申请公开的上述技术方案,通过吸杂处理以减少由多晶硅锭的尾部所生产出的N型硅片中的杂质,从而提高了对多晶硅锭尾部的利用率和N型多晶硅双面电池的少子寿命,进而提高了N型多晶硅双面电池的转换效率。
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,更具体地说,涉及一种N型多晶硅双面电池制备方法。
背景技术
N型多晶硅双面电池因具有可双面发电、发电量高等优势而受到业内人员的广泛关注。
在现有技术中,通过铸锭方式生产出多晶硅锭,并利用该硅锭生产出硅片,利用该硅片制备N型多晶硅双面电池,其制备过程具体大致为:通过硼扩散制备P+层,并通过刻蚀等工艺去除背面绕镀形成的浅结及硅片正表面所形成的BSG(Borosilicate Glass,硼硅玻璃);然后,通过掩膜方式在P+层表面形成SiONX层,以防止背表面形成N+层时影响正表面P+层的质量;在清洗掉PSG(Phosphosilicate Glass,磷硅玻璃)之后,制备钝化层,并进行丝网印刷。但是,由于硅锭尾部的金属等杂质比较多,则在制备成N型多晶硅双面电池时会导致少子寿命的降低,从而会降低所制备出的N型多晶硅双面电池的开路电路,并降低N型多晶硅双面电池的转换效率。因此,一般不利用硅锭的尾部制备N型多晶硅双面电池。
综上所述,如何提高对多晶硅锭尾部的利用率,并提高利用多晶硅锭尾部所制备出的N型多晶硅双面电池的少子寿命,以提高N型多晶硅双面电池的转换效率,是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的是提供一种N型多晶硅双面电池制备方法,以提高对多晶硅锭尾部的利用率,并提高利用多晶硅锭尾部所制备出的N型多晶硅双面电池的转换效率,从而提高N型多晶硅双面电池的转换效率。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种N型多晶硅双面电池制备方法,包括:
对制绒后的N型硅片进行硼扩散,并去除所述N型硅片背表面所形成的背面P+层,所述N型硅片为通过对多晶硅锭的尾部进行切割得到的多晶硅片;
对去除背面P+层的N型硅片进行背表面扩散吸杂处理,并去除吸杂层;
对去除所述吸杂层的N型硅片的背表面进行磷扩散,以制备BSF;
去除所述N型硅片表面所形成的PSG,在所述N型硅片的正表面和背表面分别制备钝化层,并在所述N型硅片的正表面和背表面分别制备电极,以得到N型多晶硅双面电池。
优选的,所述对去除背面P+层的N型硅片进行背表面扩散吸杂处理,包括:
对去除背面P+层的N型硅片进行背表面磷扩散吸杂处理。
优选的,所述去除所述N型硅片背表面所形成的背面P+层,包括:
通过单面刻蚀去除所述N型硅片背表面所形成的背面P+层,并保留所述N型硅片正表面所形成的BSG;
在去除所述N型硅片表面所形成的PSG时,还包括:
去除所述N型硅片正表面所形成的BSG。
优选的,在通过单面刻蚀去除所述N型硅片背表面所形成的背面P+层时,背面P+层的减薄量为0.15-0.25g。
优选的,在去除吸杂层时,所述吸杂层的减薄量为0.2-0.3g。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的