[发明专利]支撑装置及反应腔室

权利要求书

1.一种支撑装置，其特征在于，包括支撑部件、设置于所述支撑部件上的卡紧部件、以及限位结构，所述卡紧部件能够相对于所述支撑部件转动，所述限位结构用于限定所述卡紧部件在第一角度与第二角度之间转动，其中，

所述卡紧部件包括卡槽，所述卡槽用于承载并卡紧衬底；

当所述卡紧部件转动至所述第一角度时，所述卡槽的开口相对水平面倾斜向上设置，以承载所述衬底；在所述衬底移入所述卡槽的过程中，依靠所述衬底的重力作用所述卡紧部件能自所述第一角度转动至所述第二角度，以将所述衬底卡紧。

2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述卡紧部件包括卡紧本体和沿所述卡紧本体向外伸出的两个相对的悬臂，两个所述悬臂之间设有可旋转的滑轮，所述滑轮用于承载所述衬底；

所述卡紧本体具有卡紧斜面，所述卡紧斜面与所述悬臂的顶面所形成的角度为锐角，且所述卡紧斜面与所述悬臂的顶面形成所述卡槽。

3.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述限位结构包括第一凸块，所述第一凸块设置在所述支撑部件上，当所述卡紧部件转动至所述第二角度时，所述卡紧部件与所述第一凸块相抵；或者，

所述第一凸块设置在所述卡紧部件上，当所述卡紧部件转动至所述第二角度时，所述第一凸块与所述支撑部件相抵。

4.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述限位结构包括第二凸块，所述第二凸块设置在所述支撑部件上，当所述卡紧部件转动至所述第一角度时，所述卡紧部件与所述第二凸块相抵；或者，

所述第二凸块设置在所述卡紧部件上，当所述卡紧部件转动至所述第一角度时，所述第二凸块与所述支撑部件相抵。

5.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述卡紧部件的重心相对于所述卡紧部件转动的轴心偏心设置，以使在所述衬底未移入所述卡槽中时，所述卡紧部件转动至所述第一角度。

6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述卡紧斜面与所述悬臂的顶面所形成锐角的取值范围为5°-85°。

7.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑部件包括支撑柱和自所述支撑柱的顶面沿轴向向外伸出的两个相对的固定板，两个所述固定板的相对位置处均开设有第一通孔；

所述卡紧本体上设有第二通孔，第一销轴穿过所述第一通孔和所述第二通孔以将所述卡紧部件可转动的连接在两个所述固定板之间。

8.一种反应腔室，其特征在于，包括升降基座和多个如权利要求1-7任意一项所述的支撑装置，其中，当所述升降基座上升至工艺位置时，能够承载起位于所述支撑装置上的衬底。

9.根据权利要求8所述的反应腔室，其特征在于，每个支撑部件均与腔室本体的底壁固定连接；

所述升降基座中沿其周向间隔设置有多个通孔，多个所述支撑部件一一对应地穿过各个所述通孔。

10.根据权利要求9所述的反应腔室，其特征在于，所述升降基座的上表面靠近所述支撑装置的位置设置有凹槽，用于当所述升降基座上升至所述工艺位置时，容纳所述支撑装置的两个悬臂。