[发明专利]一种低接触晶圆翻转系统

权利要求书

1.一种低接触晶圆翻转系统，其特征在于：包括支承架(8)、晶圆翻转机构(4)、活动夹持臂(2)和固定夹持臂(3)，所述支承架(8)上设有转盘(801)，所述活动夹持臂(2)可移动地设置于所述转盘(801)上，所述固定夹持臂(3)固设于所述转盘(801)上，晶圆翻转机构(4)设置于所述支承架(8)上，且所述晶圆翻转机构(4)包括移动驱动装置(402)和旋转驱动装置(401)，所述活动夹持臂(2)通过所述移动驱动装置(402)驱动在所述转盘(801)上移动，所述转盘(801)通过所述旋转驱动装置(401)驱动旋转，在所述固定夹持臂(3)下侧设有气流颗粒控制系统(5)；

所述活动夹持臂(2)包括上手臂(204)、上托盘支架(203)和上托盘(205)，所述上手臂(204)后端可移动地设置于所述转盘(801)上，所述上托盘支架(203)设置于所述上手臂(204)前端，且所述上托盘支架(203)上侧与上手臂(204)间留有高度调整间隙(206)，所述上托盘支架(203)下侧设有所述上托盘(205)，且所述上托盘(205)前后侧与上托盘支架(203)之间设有侧调整间隙，在所述上托盘(205)下侧设有上支撑柱(201)，所述上托盘(205)下侧中部设有上对中导柱(202)，所述固定夹持臂(3)前端设有下托盘(302)，所述下托盘(302)上侧中部设有下对中导柱(305)，校准位置时所述下对中导柱(305)与一个定位治具(7)下端固连，所述上对中导柱(202)插入所述定位治具(7)上端的定位槽中。

2.根据权利要求1所述的低接触晶圆翻转系统，其特征在于：所述支承架(8)设有前板(802)和后板(803)，所述转盘(801)设置于所述前板(802)上，所述活动夹持臂(2)后端穿过所述转盘(801)后与所述转盘(801)滑动连接，所述移动驱动装置(402)固设于所述转盘(801)上且动力轴与所述活动夹持臂(2)后端相连，所旋转驱动装置(401)固设于所述后板(803)上且输出轴与所述转盘(801)中部固连。

3.根据权利要求2所述的低接触晶圆翻转系统，其特征在于：所述转盘(801)上设有滑轨(403)，所述活动夹持臂(2)后端设有沿着所述滑轨(403)移动的滑块。

4.根据权利要求3所述的低接触晶圆翻转系统，其特征在于：在所述转盘(801)上，在所述滑轨(403)一侧设有检测活动夹持臂(2)后端移动的移动传感器(404)，在所述前板(802)上设有检测所述转盘(801)旋转角度的角度传感器(405)。

5.根据权利要求1或2所述的低接触晶圆翻转系统，其特征在于：所述旋转驱动装置(401)通过带凹槽的旋转定位治具(407)和带定位槽的安装定位板(408)调整旋转角度，调整时旋转驱动装置(401)的输出轴穿过所述旋转定位治具(407)上的凹槽，并通过所述安装定位板(408)上的定位槽卡住固定。

6.根据权利要求1所述的低接触晶圆翻转系统，其特征在于：所述固定夹持臂(3)包括下手臂(304)、下托盘支架(303)和下托盘(302)，所述下手臂(304)后端与所述转盘(801)固连，所述下托盘支架(303)设置于所述下手臂(304)前端，所述下托盘支架(303)上侧设有所述下托盘(302)，在所述下托盘(302)上侧设有下支撑柱(301)。

7.根据权利要求1所述的低接触晶圆翻转系统，其特征在于：所述支承架(8)上设有检测系统(1)，所述检测系统(1)包括检测晶圆(6)有无的第一传感器(101)和检测晶圆(6)是否倾斜的第二传感器(102)。

8.根据权利要求1所述的低接触晶圆翻转系统，其特征在于：所述气流颗粒控制系统(5)一端安装于所述支承架(8)上，所述气流颗粒控制系统(5)设有颗粒收集盒(502)，且所述颗粒收集盒(502)外接带负压的控制管路(501)。