[发明专利]掩膜板对位系统、方法及装置

权利要求书

1.一种掩膜板对位系统，其特征在于，所述系统包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备；

所述发光设备用于发射光线，所述掩膜板设置在所述发光设备的光线传输路径上，其中所述掩膜板上开设有对位孔缝；

所述图像采集设备用于实时采集由所述发光设备发出的光线穿过所述对位孔缝时所形成的衍射图像，所述图像采集设备与所述数据处理设备通信连接，以将采集到的衍射图像传输给所述数据处理设备，使所述数据处理设备将所述衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到所述衍射图像与所述参考图像之间的图像匹配情况；

所述数据处理设备与所述对位调整设备通信连接，以根据所述图像匹配情况向所述对位调整设备输出位置调整方案，使所述对位调整设备按照所述位置调整方案对所述掩膜板进行位置调整，以实现掩膜板对位。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述图像采集设备设置在所述发光设备的光线传输路径上，所述发光设备发出的光线所对应的延伸方向经所述掩膜板指向所述图像采集设备，并垂直相交于所述图像采集设备的镜头镜面的中心位置处。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，

所述掩膜板上的所述对位孔缝的形状包括圆形、矩形、正方形、菱形中的任意一种。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的系统，其特征在于，所述系统还包括供电设备；

所述供电设备与所述发光设备、所述图像采集设备、所述数据处理设备及所述对位调整设备电性连接，用于向所述发光设备、所述图像采集设备、所述数据处理设备及所述对位调整设备提供电能。

5.一种掩膜板对位方法，其特征在于，应用于包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备的掩膜板对位系统，其中所述掩膜板上开设有对位孔缝，所述方法包括：

所述图像采集设备实时采集所述发光设备发出的光线在穿过所述掩膜板上的所述对位孔缝时所形成的衍射图像，并将采集到的所述衍射图像发送给所述数据处理设备；

所述数据处理设备将接收到的所述衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到所述衍射图像与所述参考图像之间的图像匹配度，并在所述图像匹配度小于预设匹配度阈值时向所述对位调整设备输出与该图像匹配度匹配的位置调整方案；

所述对位调整设备按照接收到的所述位置调整方案对所述掩膜板进行位置调整，以实现掩膜板对位。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述数据处理设备预存有不同灰度等级值各自对应的灰度值范围，所述数据处理设备将接收到的所述衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到所述衍射图像与所述参考图像之间的图像匹配度的步骤包括：

对接收到的所述衍射图像进行灰度化处理，得到灰度化后的所述衍射图像中各像素点对应的灰度值；

对所述衍射图像中各像素点对应的灰度值所处的灰度值范围进行识别，得到所述衍射图像中每个像素点所对应的灰度等级值；

将所述衍射图像中每个像素点所对应的灰度等级值，与所述参考图像中对应位置的像素点的灰度等级值进行比较，并统计所述衍射图像与所述参考图像之间的灰度等级值相同的像素点数目；

将统计得到的所述像素点数目与所述衍射图像的总像素点数目进行比值运算，得到所述图像匹配度。

7.一种掩膜板对位方法，其特征在于，应用于掩膜板对位系统包括的数据处理设备，所述掩膜板对位系统还包括发光设备、图像采集设备及对位调整设备，所述掩膜板上开设有对位孔缝，所述方法包括：

获取由所述图像采集设备实时采集到的，所述发光设备发出的光线在穿过所述掩膜板上的所述对位孔缝时所形成的衍射图像；

将接收到的所述衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到所述衍射图像与所述参考图像之间的图像匹配度；

当所述图像匹配度小于预设匹配度阈值时向所述对位调整设备输出与该图像匹配度匹配的位置调整方案，使所述对位调整设备按照接收到的所述位置调整方案对所述掩膜板进行位置调整，以实现掩膜板对位。