[发明专利]掩膜板对位系统、方法及装置

说明书

本申请提供一种掩膜板对位系统、方法及装置。所述系统包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备；掩膜板设置在发光设备的光线传输路径上，其中掩膜板上开设有对位孔缝；图像采集设备用于实时采集由发光设备发出的光线穿过对位孔缝时所形成的衍射图像，图像采集设备与数据处理设备通信连接，以将采集到的衍射图像传输给数据处理设备，使数据处理设备将衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到对应的图像匹配情况；数据处理设备与对位调整设备通信连接，以根据图像匹配情况向对位调整设备输出位置调整方案，使对位调整设备对掩膜板进行位置调整。所述系统可实现对掩膜板的快速精准对位，降低设备宕机现象的产生概率。

技术领域

本申请涉及掩膜板挂载安装技术领域，具体而言，涉及一种掩膜板对位系统、方法及装置。

背景技术

目前的LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)显示装置及OLED(OrganicLight-Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置在生产制造的过程中，通常需要针对玻璃基板(例如，阵列基板、彩膜基板、蒸镀基板等)进行类似于蒸镀、薄膜封装等加工操作。而在这加工操作的实现过程中需挂载安装掩膜板进行加工辅助，并针对掩膜板进行精准对位，以提高加工精确性。

但就目前而言，现有的针对掩膜板的对位系统都是直接采用CCD(Charge CoupledDevice，电荷耦合器件)图像采集设备对掩膜板上的对位标记的位置进行搜索识别，并通过移动掩膜板的方式实现对掩膜板的对位。这样的对位系统对应的对位精度低，整体的对位时间长，在对掩膜板上的对位标记进行搜索识别的过程中容易出现捕捉定位异常而导致设备出现宕机现象。

发明内容

为了克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种掩膜板对位系统、方法及装置，所述掩膜板对位系统的对位精度高，对位时间短，能够通过实时采集基于光学衍射形成的衍射图像，并根据实时采集到的衍射图像对掩膜板偏移量进行补偿修正，以实现对掩膜板的快速精准对位，降低设备宕机现象的产生概率。

就系统而言，本申请实施例提供一种掩膜板对位系统，所述系统包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备；

所述发光设备用于发射光线，所述掩膜板设置在所述发光设备的光线传输路径上，其中所述掩膜板上开设有对位孔缝；

所述图像采集设备用于实时采集由所述发光设备发出的光线穿过所述对位孔缝时所形成的衍射图像，所述图像采集设备与所述数据处理设备通信连接，以将采集到的衍射图像传输给所述数据处理设备，使所述数据处理设备将所述衍射图像与预存的参考图像进行比对；

所述数据处理设备与所述对位调整设备通信连接，以根据所述衍射图像与所述参考图像之间的图像匹配情况向所述对位调整设备输出位置调整方案，使所述对位调整设备按照所述位置调整方案对所述掩膜板进行位置调整，以实现掩膜板对位。

就方法而言，本申请实施例提供一种掩膜板对位方法，应用于包括发光设备、图像采集设备、数据处理设备及对位调整设备的掩膜板对位系统，其中所述掩膜板上开设有对位孔缝，所述方法包括：

所述图像采集设备实时采集所述发光设备发出的光线在穿过所述掩膜板上的所述对位孔缝时所形成的衍射图像，并将采集到的所述衍射图像发送给所述数据处理设备；

所述数据处理设备将接收到的所述衍射图像与预存的参考图像进行比对，得到所述衍射图像与所述参考图像之间的图像匹配度，并在所述图像匹配度小于预设匹配度阈值时向所述对位调整设备输出与该图像匹配度匹配的位置调整方案；

所述对位调整设备按照接收到的所述位置调整方案对所述掩膜板进行位置调整，以实现掩膜板对位。