[发明专利]摆动式生瓷片刮片上下料方法有效
申请号: | 201811185559.0 | 申请日: | 2018-10-11 |
公开(公告)号: | CN109524338B | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 武鹏飞;王晓奎;闫瑛;景灏 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人: | 陈奇 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 摆动 瓷片 上下 方法 | ||
本发明公开了一种摆动式生瓷片刮片上下料方法,解决了现有的生瓷片刮片上下料机构存在的设备成本高和上下料占用空间大的问题。前主动摆臂(8)、右前从动摆臂(12)、上下料台基座(3)和长方形吸盘(11)组成前平行四边形四连杆机构,后主动摆臂(15)、右后从动摆臂(20)、上下料台基座(3)和长方形吸盘(11)组成后平行四边形四连杆机构,在伺服电机(4)的驱动下,可实现长方形吸盘(11)的向左或向右的摆动,完成将生瓷片从生瓷片送料台(1)到生瓷片刮片台(14)之间的上下料。本发明投资成本低,机构简单,操作容易,节省了占地空间。
技术领域
本发明涉及一种生瓷片的上下料机构,特别涉及一种对生瓷片填孔后刮片时所使用的上下料机构及上下料方法。
背景技术
各生瓷片之间的集成电路的互连是通过生瓷片填孔工艺来实现的,填孔工艺是指通过钢网对生瓷片上的孔进行浆料填充;在生瓷片上进行填孔工艺后,需要将生瓷片上填孔后凸起的浆料去除,整个去除过程是:先将填孔后的生瓷片通过上下料机上料到生瓷片刮片机上,生瓷片刮片机对上料后的生瓷片进行刮片处理,刮片处理后的生瓷片通过上下料机送回。现有的生瓷片刮片工艺设备具有以下特点:(1)在整个集成电路产品的自动化生产中,现有的自动化流水线的高度是与刮片机的刮片平台的高度基本一致;(2)生瓷片刮片拾取(即生瓷片刮料的上、下料)过程中,对生瓷刮料片定位误差的要求也不高。现有生产线上的生瓷片刮料所采用的上下料机为垂直上下料水平移动结构的上下料机,这种结构的上下料机是通过XZ两轴驱动结构来实现的,具有定位精度高、结构复杂和操作烦琐的特点,存在投资成本高,上下料占用空间大,上下料效率低的问题。
发明内容
本发明提供了一种摆动式生瓷片刮片上下料方法,解决了现有的生瓷片刮片上下料机构存在的设备成本高和上下料占用空间大的技术问题。
本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的:
一种摆动式生瓷片刮片上下料机构,包括生瓷片送料台和生瓷片刮片台,在生瓷片送料台与生瓷片刮片台之间设置有上下料台基座,在上下料台基座上设置有减速器,在上下料台基座的下端面上固定设置有伺服电机,伺服电机与减速器的输入端连接在一起,在减速器的输出端上设置有沿前后水平方向双端伸出的通轴,通轴的前端通过连接键与前主动摆臂的下端连接在一起,通轴的后端通过另一连接键与后主动摆臂的下端连接在一起,前主动摆臂的上端连接在吸盘前连接块的左前动力臂铰链座上,后主动摆臂的上端连接在吸盘后连接块的左后动力臂铰链座上,吸盘前连接块和吸盘后连接块是分别设置在长方形吸盘上的,在吸盘前连接块的右端设置有右前上从动臂铰链座,在右前上从动臂铰链座上铰接有右前从动摆臂,右前从动摆臂的下端铰接在右前下从动臂铰链座上,右前下从动臂铰链座固定设置在上下料台基座上,在吸盘后连接块上设置有右后上从动臂铰链座,在右后上从动臂铰链座上铰接有右后从动摆臂,右后从动摆臂的下端铰接在右后下从动臂铰链座上,右后下从动臂铰链座固定设置在上下料台基座上。
在生瓷片送料台上设置有生瓷片;在上下料台基座上设置有通轴的旋转限位器。
一种摆动式生瓷片刮片上下料方法,包括以下步骤:
第一步、在生瓷片送料台与生瓷片刮片台之间设置上下料台基座,在上下料台基座上设置减速器,在上下料台基座的下端面上固定设置伺服电机,伺服电机与减速器的输入端连接在一起;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造