[发明专利]载台装置与平面度检测调整设备

权利要求书

1.一种载台装置，其特征在于，包括：

基座，具有第一承载面，以承载目标物；

吸附区，设置于所述第一承载面，使所述目标物吸附于所述第一承载面上；以及

气浮区，邻近所述吸附区并凹陷于所述第一承载面，

其中当所述第一承载面承载所述目标物时，所述目标物覆盖所述吸附区与所述气浮区，其中所述吸附区提供吸力至所述目标物的外缘部，且所述气浮区提供吹力至所述目标物的所述外缘部以内的中间部。

2.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，还包括：

升降组件，可动地设置于所述基座，且穿设于所述第一承载面，所述升降组件用以承载目标物并调整所述目标物与所述第一承载面之间的相对距离，所述基座的外型包括圆形、椭圆形、正方形、长方形或六边形。

3.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，所述基座包括：

第一座部；以及

第二座部，设置于所述第一座部上，其中所述第二座部具有所述第一承载面、所述气浮区及所述吸附区，且所述升降组件穿设于所述第一座部与所述第二座部。

4.根据权利要求3所述的载台装置，其特征在于，所述第一座部具有多个第一气孔与多个第一通道，且每一所述第一通道与至少一所述第一气孔相连通，所述第二座部具有位于所述吸附区内的多个第二气孔，且每一所述第一通道与至少一所述第二气孔相连通，所述吸力经由所述多个第一气孔、所述多个第一通道以及所述多个第二气孔提供至所述目标物的所述外缘部。

5.根据权利要求3所述的载台装置，其特征在于，所述第一座部具有第一气孔与图案化通道，且所述第二座部具有位于所述气浮区内的多个第二气孔，其中所述第一气孔经由所述图案化通道连通所述多个第二气孔，所述吹力经由所述第一气孔、所述图案化通道以及所述多个第二气孔提供至所述目标物的所述中间部。

6.根据权利要求3所述的载台装置，其特征在于，所述第一座部具有多个第一穿孔，且所述第二座部具有贯穿所述第一承载面的多个第二穿孔，每一所述第一穿孔连通所述第二穿孔，且所述升降组件用以在所述多个第一穿孔与所述多个第二穿孔中往复移动，每一所述第二穿孔的局部落在所述吸附区内。

7.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，所述升降组件包括：

多个升降柱，可动地设置于所述基座，且穿设于所述第一承载面，且每一所述升降柱具有用以承载所述目标物的所述外缘部的第二承载面。

8.根据权利要求7所述的载台装置，其特征在于，所述升降组件还包括：

多个定位部，分别设置于所述多个升降柱的所述多个第二承载面，所述多个定位部环绕于所述目标物的所述外缘部外，以将所述目标物定位于所述吸附区与所述气浮区上。

9.根据权利要求8所述的载台装置，其特征在于，每一所述升降柱的所述第二承载面的局部落在所述吸附区内，每一所述升降柱的所述定位部落在所述吸附区外并与所述吸附区的外缘相切，每一所述定位部具有连接对应的所述第二承载面的导引斜面，且每一所述导引斜面朝向所述气浮区，每一所述导引斜面与对应的所述升降柱朝向所述气浮区的外缘之间的距离朝远离对应的所述第二承载面的方向渐扩。

10.一种平面度检测调整设备，其特征在于，包括：

载台装置，包括：

基座，具有第一承载面，以承载目标物；

吸附区，设置于所述第一承载面，使所述目标物吸附于所述第一承载面上；以及

气浮区，邻近所述吸附区并凹陷于所述第一承载面，

其中当所述第一承载面承载所述目标物时，所述目标物覆盖所述吸附区与所述气浮区，其中所述吸附区提供吸力至所述目标物的外缘部，且所述气浮区提供吹力至所述目标物的所述外缘部以内的中间部；以及

检测装置，设置于所述载台装置的上方，用以检测所述目标物的平面度，

其中所述气浮区提供至所述中间部的所述吹力用以依据所述检测装置检测所述目标物所得的平面度进行调整。