[发明专利]载台装置与平面度检测调整设备在审

申请号：	201811187018.1	申请日：	2018-10-12
公开（公告）号：	CN110779472A	公开（公告）日：	2020-02-11
发明（设计）人：	邹嘉骏;赖宪平	申请（专利权）人：	由田新技股份有限公司
主分类号：	G01B11/30	分类号：	G01B11/30
代理公司：	11205 北京同立钧成知识产权代理有限公司	代理人：	吴志红;臧建明
地址：	中国台湾新北市中***	国省代码：	中国台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	目标物吸附区承载面气浮区载台装置承载外缘部吸力平面度检测调整设备中间部吸附邻近覆盖
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【说明书】：

本发明提供一种载台装置与平面度检测调整设备。载台装置包括基座、吸附区以及气浮区。基座具有第一承载面以承载目标物。吸附区设置于第一承载面，使目标物吸附于第一承载面上。气浮区邻近吸附区并凹陷于第一承载面。当第一承载面承载目标物时，目标物覆盖吸附区与气浮区，其中吸附区提供吸力至目标物的外缘部，且气浮区提供吹力至目标物的外缘部以内的中间部。

技术领域

本发明涉及一种载台装置与平面度检测调整设备，尤其涉及一种用于增加所承载的目标物的平面度的载台装置与平面度检测调整设备。

背景技术

一般而言，载台可用于承载目标物(例如是玻璃基板等的基板)，以利于对目标物进行后续作业(例如对目标物进行检测作业或加工作业)。为了避免目标物直接接触载台而造成损伤，目前其中一种解决方案是减少目标物与载台之间的接触，例如使目标物的局部承载于载台，并使目标物的局部受力而定位于载台，藉此减少目标物因接触载台所造成的损伤。然而，使目标物的局部受力而定位于载台上的解决方案，容易使得目标物产生翘曲而难以确保其平面度，如此并不利于对目标物进行后续作业。

发明内容

本发明提供一种载台装置，其可使目标物受力平均，使目标物的平面度维持在较佳的范围，以利于对目标物进行后续作业。

本发明的载台装置包括基座、吸附区以及气浮区。基座具有第一承载面以承载目标物。吸附区设置于第一承载面，使目标物吸附于第一承载面上。气浮区邻近吸附区并凹陷于第一承载面。当第一承载面承载目标物时，目标物覆盖吸附区与气浮区，其中吸附区提供吸力至目标物的外缘部，且气浮区提供吹力至目标物的外缘部以内的中间部。

基于上述，本发明的载台装置可通过吸附区提供吸力至目标物的外缘部，以及气浮区提供吹力至目标物的外缘部以内的中间部，藉此，目标物的各个部分能够平均受力，有助于使目标物的平面度维持在较佳的范围内，以利于对目标物进行后续作业。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1是本发明的一实施例的一种载台装置的立体示意图。

图2A是图1的载台装置承载目标物的立体示意图。

图2B是图2A中区域A的局部放大示意图。

图2C是检测装置与图2A的载台装置的立体示意图，其中目标物承载于第一承载面。

图3A是图1的载台装置的基座的爆炸示意图。

图3B是图3A中区域B的局部放大示意图。