[发明专利]超级结器件的测试方法

权利要求书

1.一种超级结器件的测试方法，其特征在于：

第1步，在测试程序开始前建立两份测试数据文件，标记为文件A、文件B；

第2步，进行接触性开尔文测试，失效的芯片直接剔除，终止测试，测试结果KELVIN输出到文件A；测试通过的芯片进行下一步的测试；

第3步，进行栅、源漏电初始测试，测试结果IGSS0输出到文件A；

第4步，进行漏、源漏电测试：首先进行击穿电压预测试，用宽的测试条件测试出器件的击穿电压值，定义为BVDSS0，输出到文件B；再进行漏、源漏电测试；若测试结果满足测试标准，则将测试结果IDSS1输出到文件A；若测试结果未达标，则进行下一步跳转降级测试；

第5步，修改漏、源漏电测试条件，重复进行上述第4步，第一级测试的数据IDSS2输出到文件A，第二级测试的数据IDSS20输出到文件B；

第6步，进行击穿电压测试，测试数据输出到文件A；

第7步，进行导通电阻RDSON测试，按照标准测试条件进行筛选，测试结果输出到文件A；如果标准测试条件不通过，则进行跳转降级测试；

第8步，再重复测试栅、源漏电和漏、源漏电，测试结果IGSSF、IDSSF均输出到文件A；如果测试不通过，则将芯片直接剔除。

2.如权利要求1所述的超级结器件的测试方法，其特征在于：所述第4步中，对测试进行分级筛选，在用宽的电压测试范围对样品进行性能参数测试得到摸底数据之后，未达标的样品设置降级程序进行跳转降级测试，是将摸底数据乘以一个系数α，继续进行测试，测试结果输出到文件B。

3.如权利要求2所述的超级结器件的测试方法，其特征在于：所述的系数0﹤α﹤1。

4.如权利要求1所述的超级结器件的测试方法，其特征在于：所述第5步中，对于修改漏、源漏电测试条件，根据实际情况需要，测试级数能进行多档细分，如两级、三级及以上。

5.如权利要求1所述的超级结器件的测试方法，其特征在于：所述第7步中，降级测试是在标准测试条件的基础上乘以一个系数β，作为测试跳进再次测试，测试结果RDSON0输出到文件B。

6.如权利要求5所述的超级结器件的测试方法，其特征在于：所述的系数0﹤β﹤1。