[发明专利]显示基板及其制造方法、显示装置有效
申请号: | 201811196955.3 | 申请日: | 2018-10-15 |
公开(公告)号: | CN109326614B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 方金钢;丁录科 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 柴亮;张天舒 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 及其 制造 方法 显示装置 | ||
本发明提供一种显示基板及其制造方法、显示装置,属于显示技术领域,其可至少部分解决现有的显示基板中断线和ESD不良的问题。本发明的显示基板包括基底、设置在所述基底上的第一绝缘层、设置在所述第一绝缘层远离所述基底一侧的第一信号线、覆盖所述第一信号线的第二绝缘层、设置在所述第二绝缘层远离所述基底一侧的第二信号线,所述第一信号线与所述第二信号线具有交叠区,在所述第一绝缘层上设有凹槽,所述第一信号线至少在所述交叠区处设置在所述凹槽内。
技术领域
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种显示基板、一种显示基板的制造方法、一种显示装置。
背景技术
在现有的显示基板(例如液晶显示基板或OLED显示基板)中,为了给各像素供电,显示基板中设有交叉设置的栅线和数据线,为避免二者导通,二者之间设有绝缘层。
为减小栅线的电阻,栅线截面积要足够大,因其宽度有限,故将其厚度增大,这导致栅线的侧壁高且陡峭,当栅线在数据线下方时,栅线侧壁处的绝缘层会相对较薄,栅线侧壁处的数据线也会相对较薄。较薄的绝缘层易导致ESD不良,较薄的数据线易导致断线不良。
发明内容
本发明至少部分解决现有的显示基板的静电不良以及断线不良的问题,提供一种显示基板及其制造方法、显示装置。
根据本发明的第一方面,提供一种显示基板,包括基底、设置在所述基底上的第一绝缘层、设置在所述第一绝缘层远离所述基底一侧的第一信号线、覆盖所述第一信号线的第二绝缘层、设置在所述第二绝缘层远离所述基底一侧的第二信号线,所述第一信号线与所述第二信号线具有交叠区,在所述第一绝缘层上设有凹槽,所述第一信号线至少在所述交叠区处设置在所述凹槽内。
可选地,位于所述凹槽内的所述第一信号线的至少部分侧面与所述凹槽壁面接触。
可选地,所述第一信号线位于所述凹槽中的部分的远离所述基底一侧的表面与所述凹槽的开口平齐。
可选地,所述第一信号线全部位于所述凹槽中。
可选地,所述第一信号线的延伸方向与所述第二信号线的延伸方向相交。
可选地,构成所述第一绝缘层的材料包括有机硅玻璃。
可选地,所述显示基板还包括设置在所述凹槽底面与所述第一信号线之间的第三绝缘层。
可选地,所述第一信号线包括栅线,所述第二信号线包括数据线,所述第三绝缘层包括栅绝缘层。
可选地,所述显示基板还包括设置在所述基底朝向所述第一绝缘层的一侧的金属遮光层,所述第一绝缘层覆盖所述金属遮光层,所述显示基板内还设置有驱动薄膜晶体管,所述驱动薄膜晶体管设于所述第一绝缘层远离所述基底一侧,且所述驱动薄膜晶体管在所述金属遮光层所在平面的正投影处于所述金属遮光层内。
根据本发明的第二方面,提供一种显示基板的制造方法,所述显示基板为本发明第一方面所提供的显示基板,所述制造方法包括:
通过构图工艺在基底上形成所述第一绝缘层,并在所述第一绝缘层中形成所述凹槽;
通过构图工艺在所述第一绝缘层上形成所述第一信号线;
在所述第一信号线上形成所述第二绝缘层;
通过构图工艺在所述第二绝缘层上形成所述第二信号线。
可选地,当所述第一绝缘层采用有机硅玻璃溶液形成时,所述通过构图工艺在基底上形成所述第一绝缘层包括:
在所述基底上涂覆有机硅玻璃溶液;
对所述有机硅玻璃溶液进行前烘、曝光、显影以得到所述凹槽。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的