[发明专利]检测源监控单元的方法

权利要求书

1.一种检测源监控单元的方法，用于晶圆允收测试机中多个源监控单元的检测，其特征在于，包括：

提供至少一台所述晶圆允收测试机，选定多个源监控单元；

针对每个所述源监控单元，连接所述源监控单元与对应探针卡上的两个探针；

在同一条件下，利用每个所述源监控单元多次循环测试所述探针上的电流或两个所述探针之间的电压；以及

横向比较分析多个所述源监控单元测得的电流或电压，并判断多个所述源监控单元是否异常。

2.如权利要求1所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，多个所述源监控单元的规格型号相同。

3.如权利要求1或2所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，所述源监控单元与两个所述探针相连构成导电回路，所述源监控单元为所述导电回路提供恒压源或恒流源。

4.如权利要求3所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，所述源监控单元还与两个所述探针构成测试电路，所述源监控单元检测所述探针上的电流或两个所述探针之间的电压。

5.如权利要求4所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，两个所述探针的通道之间串有识别电阻。

6.如权利要求5所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，所述同一条件包括多个所述导电回路的电阻相等、多个所述恒压源或恒流源相同。

7.如权利要求6所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，若所述源监控单元为所述导电回路提供的是恒压源，则所述源监控单元检测所述探针上的电流。

8.如权利要求6所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，若所述源监控单元为所述导电回路提供的是恒流源，则所述源监控单元检测两个所述探针之间的电压。

9.如权利要求7或8所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，在所述导电回路的电阻固定时，调节所述恒压源的大小以测试得到不同量级的电流，或调节所述恒流源的大小以测试得到不同量级的电压。

10.如权利要求9所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，所述比较多个所述源监控单元测得的电流或电压，并判断多个所述源监控单元是否异常的步骤包括：

对每个所述源监控单元多次测得的电流取平均值得到电流均值，或对每个所述源监控单元多次测得的电压取平均值得到电压均值；

对多个所述源监控单元对应的电流均值进行平均运算得到电流参考值，或对多个所述源监控单元对应的电压均值进行平均运算得到电压参考值；

比较每个所述源监控单元对应的电流均值与所述电流参考值的大小，若所述电流均值与所述电流参考值的差值超过第一阈值，则对应的所述源监控单元异常；或者比较每个所述源监控单元对应的电压均值与所述电压参考值的大小，若所述电压均值与所述电压参考值的差值超过第二阈值，则对应的所述源监控单元异常。

11.如权利要求10所述的检测源监控单元的方法，其特征在于，所述第一阈值和所述第二阈值由所述导电回路的参数结合先验知识得到。