[发明专利]检测源监控单元的方法

说明书

本发明公开了一种检测源监控单元的方法，用于晶圆允收测试机中多个源监控单元的检测，包括：提供晶圆允收测试机，选定多个源监控单元；针对每个源监控单元，连接源监控单元与对应探针卡上的两个探针；在同一条件下，利用每个源监控单元多次循环测试探针上的电流或两个探针之间的电压；比较分析多个源监控单元测得的电流或电压，判断源监控单元是否异常。本发明利用探针卡上的探针与晶圆允收测试机中的源监控单元构成导电测试回路，在最大程度的接近实际测试状况下，针对晶圆允收测试机中的多个源监控单元进行测试，通过横向比较多个源监控单元的测试结果，能及时发现出现异常的源监控单元，从而能提前预防测试问题，缩短了查找测试问题的时间。

技术领域

本发明涉及晶圆允收测试技术领域，尤其是涉及一种检测源监控单元的方法。

背景技术

晶圆允收测试，即WAT测试(Wafer Acceptance Test)，通常都是在晶圆的所有制程完成之后，针对晶圆上的各种测试结构进行的电性测试。通过晶圆允收测试，我们可以及时发现半导体制程工艺中的问题，帮助完善调整制程工艺。

用于WAT测试的WAT测试系统主要由晶圆允收测试机、探针机及探针卡组成，晶圆允收测试机主要施加直流信号，控制探针机托盘的移动，并提供操作界面；探针机主要将晶圆载入和载出，对晶圆进行精确定位，和测试通信；探针卡主要是连接测试机和探针机托盘上的晶圆。其中，晶圆允收测试机包括多个源监控单元SMU(Source Monitor Unit)，源监控单元作为测试机最核心的部件之一，其功能是对外(如待测的晶圆)提供电压源或者电流源，并对导电回路中的电流或电压进行量测。

作为WAT测试系统的核心部件，晶圆允收测试机大都带有自检程序，以便于及时发现晶圆允收测试机的问题。虽然现有的晶圆允收测试机大都带有自检程序，但自检程序对于晶圆允收测试机中源监控单元的检测具有以下局限性：

源监控单元的最小检测电流只能检测到10^-9A级别，但在实际测试中经常测到10^-11A级别；每次自检一个量级只检测一次，无法反应测试的稳定性；且该自检只在测试机内部电路中自检，与针对晶圆的实际测试有区别。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆允收测试机中源监控单元的检测方法，以及时发现晶圆允收测试机中源监控单元的异常，从而提前预防测试问题，并缩短查找测试问题的时间。

为了达到上述目的，本发明提供了一种检测源监控单元的方法，用于晶圆允收测试机中多个源监控单元的检测，包括：

提供至少一台所述晶圆允收测试机，选定多个源监控单元；

针对每个所述源监控单元，连接所述源监控单元与对应探针卡上的两个探针；

在同一条件下，利用每个所述源监控单元多次循环测试所述探针上的电流或两个所述探针之间的电压；以及

比较分析多个所述源监控单元测得的电流或电压，并判断多个所述源监控单元是否异常。

可选的，多个所述源监控单元的规格型号相同。

可选的，所述源监控单元与两个所述探针相连构成导电回路，所述源监控单元为所述导电回路提供恒压源或恒流源。

可选的，所述源监控单元还与两个所述探针构成测试电路，所述源监控单元检测所述探针上的电流或两个所述探针之间的电压。

可选的，两个所述探针的通道之间串有识别电阻。

可选的，所述同一条件包括多个所述导电回路的电阻相等、多个所述恒压源或恒流源相同。

可选的，若所述源监控单元为所述导电回路提供的是恒压源，则所述源监控单元检测所述探针上的电流。