[发明专利]用于在基板上制作像素单元的掩膜结构以及掩膜制作方法在审
申请号: | 201811200154.X | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN109546010A | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 邓星辰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 遮蔽 金属条 掩膜结构 平滑 像素形成 支撑条 掩膜 制作 横向平行 显示面板 像素单元 金属框 突出部 像素区 凹口 基板 全屏 外框 平行 | ||
一种掩膜结构包含掩膜外框、数个平滑遮蔽条、数个突出遮蔽条、数个支撑条与数个金属条。所述突出遮蔽条具有数口突出部。所述金属条具有数个像素形成区。所述平滑遮蔽条与所述突出遮蔽条彼此间隔且横向平行地设置于金属框上。数个遮蔽条纵向且平行地设置于所述平滑遮蔽条与所述突出遮蔽条上。数个金属条设置于所述支撑条上。利用本发明提供的掩膜结构,不需改变金属条上像素形成区的设计,即可形成具有凹口的像素区,以利制作全屏面显示面板。
技术领域
本发明涉及掩膜结构领域,尤其是涉及一种用于制作有机电致发光二极管的掩膜结构。
背景技术
随着智慧终端的迅速发展,对于显示面板的显示品质、耗能效率以及应用场合的要求越来越高。有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器因具有色彩鲜艳、对比度高、功耗低、延展性佳等诸多优点,成为了显示领域的开发重点。随着OLED显示器制作工艺的日趋成熟,应用领域也越来越广。
OLED生产制造中,与一般液晶显示面板最大的不同,便是OLED制造需要利用真空蒸镀工艺。蒸镀过程中会将金属掩膜(Metal Mask)与玻璃基板精确贴合,然后将红(R)、绿(G)、蓝(B)三色的有机发光材料通过掩膜板的开孔蒸镀至基板上。OLED显示面板即是通过能自发光的有机材料发出红绿蓝三原色,组成不同色彩。
目前“全面屏”逐渐成为智慧终端的主流,如图1所示,智慧终端10具有显示面板12,显示面板12分成像素区14以及非像素区16,像素区14具有红绿蓝OLED来显示画面,非像素区16则不具有OLED,是用来放置前置镜头、扩音元件、测光元件、补光元件等需要设置于显示面板12上的元件。
现有制造如图1的显示面板12的方法,是利用如图2所示的凹口(notch)掩膜结构20。凹口掩膜结构20包含掩膜框(Mask Frame)200、数个遮蔽条(Cover)220、数个支撑条(howling)240及数个金属条(Metal Sheet)260。数个遮蔽条220以纵向平行且等间距地设置于掩膜框200上,用来在曝光制程时遮蔽玻璃基板(未图示),使得有机发光材料不会蒸镀在被遮蔽条220遮蔽的区域。数个支撑条240以横向平行且等间距地设置于遮蔽条240上,支撑条240用来支撑金属条260。支撑条240同样具有遮蔽效果,使得有机发光材料也不会蒸镀在支撑条260所遮蔽的区域。金属条260通过张网设置于支撑条240上方,支撑条240用来承受金属条260的张力。每个金属条260具有数个像素成形区262,纵向的遮蔽条220与横向的支撑条240交错形成数个面板像素区264,面板像素区264的形状对应于像素成形区262,有机发光材料根据遮蔽条220、支撑条240、像素形成区262以及面板像素区264的形状,形成显示面板。以图2所示的凹口掩膜结构为例,有七个遮蔽条220、五个支撑条240以及八个金属条260,共有八列以及六行的像素区264,因此在一次的制程中可以形成48(8*6)个显示面板。
通过图2所述的凹口掩膜结构20,现有技术有两种方法来形成如图1的显示面板12。第一种方法是改变遮蔽条220的形状,在遮蔽条220上设计与非像素区16对应的形状,使得面板像素区264的形状相应地改变,因此有机发光材料只会镀在未被遮蔽的区域。第二种方法是改变金属条260的设计,使像素成形区262的形状对应于显示面板12中像素区14的形状,使得发光材料只会镀在像素成形区262内,因此即使面板像素区264的形状仍是一个矩形,像素区14中的有机发光材料会根据像素成形区262的形状分布在玻璃基板上。然而金属条260是精细金属掩膜(Fine Metal Mask,FMM)的一部分,改变设计的成本较高,也较难精准呈现想要的形状。
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