[发明专利]一种压电薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201811201761.8 申请日: 2018-10-15
公开(公告)号: CN111048659A 公开(公告)日: 2020-04-21
发明(设计)人: 向勇;胡潇然 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L41/02 分类号: H01L41/02;H01L41/16;H01L41/18;H01L41/317;H01L41/37;H01L41/45
代理公司: 成都帝鹏知识产权代理事务所(普通合伙) 51265 代理人: 黎照西
地址: 610000 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 压电 薄膜 及其 制备 方法
【说明书】:

发明涉及压电材料技术领域,尤其涉及一种压电薄膜及其制备方法。其制备方法包括将偏氟乙烯预溶液与石墨烯悬浮液混合、分散后获得偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液;将偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液涂布于一衬底之上,干燥处理以形成待处理薄膜;进一步将待处理薄膜进行极化处理以获得所需压电薄膜。上述制备方法的制备工艺效率高、制备获得的压电薄膜的耐高温性能好,其力电转换能力也有显著的提升,可获得压电系数大于32pc/N的压电薄膜。本发明还提供一种压电薄膜,其是基于如上所述的压电薄膜制备方法制备获得,所述压电薄膜的压电系数大于32pc/N。

【技术领域】

本发明涉及压电材料技术领域,尤其涉及一种压电薄膜及其制备方法。

【背景技术】

压电材料是一种能够将机械能和电能相互转换的材料。其中,压电聚合物,特别是偏氟乙烯类压电聚合物,因具有较强的压电性能及特有的柔性,因而在传感器、芯片、能源工程、环境净化、探伤、可穿戴领域等方面得到了广泛的应用。然而,由于现有制备技术上的局限性,上述方法没有能最大限度地发挥聚偏氟乙烯强极性的特点。到目前为止,所获材料的压电系数(d33)也较低。

【发明内容】

针对上述问题,本发明提供一种压电薄膜及其制备方法。

本发明解决技术问题的方案是提供一种压电薄膜制备方法,其包括以下步骤:提供偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物,并将其溶解于溶剂中,以形成偏氟乙烯-三氟乙烯预溶液;提供石墨烯,并将其溶解于溶剂中,以形成石墨烯悬浮液;将偏氟乙烯-三氟乙烯预溶液与石墨烯悬浮液混合、分散后获得偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液;将偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液涂布于一衬底之上,干燥处理以形成待处理薄膜;及将待处理薄膜进行极化处理以获得所需压电薄膜。

优选地,所述偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物的共聚比为90/10-50/50;其中,所述石墨烯的质量占所述偏氟乙烯质量的百分比为0.005%-2%。

优选地,所述偏氟乙烯-三氟乙烯预溶液的浓度为1-20wt%,所述石墨烯悬浮液的浓度为0.005-1.5wt%,所述溶剂包括丁酮、N,N-二甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基酰胺中任一种或几种的组合。

优选地,所述石墨烯包括剥离的石墨烯片层,所述石墨烯包括含氧官能团,所述石墨烯的含氧量为2%-6%。

优选地,所述含氧官能团包括羧基、羰基、羟基中的一种或几种的组合;所述石墨烯还包括C-O偶极,所述C-O偶极与所述偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物的偶极相匹配。

优选地,所述涂布方式包括旋涂、喷涂及全面涂布中任一种;形成的所述待处理薄膜的厚度为2μm-20μm。

优选地,所述衬底包括ITO玻璃、硅片、铜板、铝板中任一种。

优选地,所述干燥处理具体包括如下步骤:在室温及真空条件下对待处理薄膜进行烘干处理1-8min,以形成烘干薄膜。

优选地,所述极化处理具体包括以下步骤:在20-30℃下,利用3-20KV的电压极化待处理薄膜1-20min,所述极化的电极端与薄膜表面的距离为0.01-25mm。本发明解决技术问题的方案是还提供一种压电薄膜,其是将偏氟乙烯-三氟乙烯预溶液与石墨烯悬浮液混合、分散后获得偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液;再将偏氟乙烯-三氟乙烯/石墨烯溶液涂布于一衬底之上,干燥处理以形成待处理薄膜;进一步将待处理薄膜进行极化处理以获得所述压电薄膜;所述压电薄膜的压电系数大于32pc/N。

与现有技术相比,本发明的测试压电系数的系统同样具有上述优点。本发明提供的一种压电薄膜及其制备方法简单易行,可形成同时具较强压电效应的聚偏氟乙烯压电薄膜的制备方法。

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