[发明专利]液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质在审
申请号: | 201811202183.X | 申请日: | 2018-10-16 |
公开(公告)号: | CN109671647A | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 大岛澄美;林辉幸;中込裕;松本诚;户原淳志;今田雄 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排出 液滴 载置 检查 液滴排出装置 计算机存储介质 液滴排出头 媒介 液滴干燥 功能液 排出物 排出液 拍摄 罩体 摄像机 承接 描绘 覆盖 | ||
1.一种向工件排出功能液的液滴以进行描绘的液滴排出装置,其特征在于,包括:
向所述工件排出液滴的液滴排出头;
检查用载置媒介,其承接来自所述液滴排出头的检查排出物;
检查用盖,其覆盖为检查而排出到所述检查用载置媒介的液滴;和
拍摄部,其透过所述检查用盖来拍摄为检查而排出到所述检查用载置媒介的液滴。
2.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于:
所述检查用盖为透明的材质,是能够降低或防止光的反射的盖。
3.如权利要求1或2所述的液滴排出装置,其特征在于:
还包括支承所述检查用盖的盖支承部,
所述检查用盖、所述盖支承部和所述检查用载置媒介形成用于收纳为检查而排出到所述检查用载置媒介的液滴的密闭空间。
4.如权利要求3所述的液滴排出装置,其特征在于:
所述密闭空间被划分为多个。
5.如权利要求1或2所述的液滴排出装置,其特征在于:
从所述液滴排出头为检查而排出的液滴渗透到所述检查用载置媒介中,所述检查用盖配置在渗透了液滴的所述检查用载置媒介上。
6.如权利要求1~5的任一项所述的液滴排出装置,其特征在于:
还包括支承所述拍摄部的拍摄支承部,
在从所述液滴排出头进行检查排出时,所述检查用盖由所述拍摄支承部保持。
7.如权利要求1~5的任一项所述的液滴排出装置,其特征在于:
还包括使所述检查用载置媒介在水平方向移动的载置媒介移动机构,
在从所述液滴排出头进行检查排出时,所述检查用盖由所述载置媒介移动机构保持。
8.一种从液滴排出头向工件排出功能液的液滴以进行描绘的液滴排出方法,其特征在于,包括:
检查排出步骤,其从所述液滴排出头向检查用载置媒介为检查而排出液滴;
盖配置步骤,其以覆盖为检查而排出到所述检查用载置媒介的液滴的方式配置检查用盖;和
拍摄步骤,其透过所述检查用盖,利用拍摄部来拍摄为检查而排出到所述检查用载置媒介的液滴;和
检查步骤,其根据所述拍摄部拍摄的图像来检查所述液滴。
9.如权利要求8所述的液滴排出方法,其特征在于:
所述检查用盖为透明的材质,是能够降低或防止光的反射的盖。
10.如权利要求8或9所述的液滴排出方法,其特征在于:
在所述盖配置步骤中,由所述检查用盖、支承所述检查用盖的盖支承部和所述检查用载置媒介,形成用于收纳为检查而排出到所述检查用载置媒介的液滴的密闭空间。
11.如权利要求10所述的液滴排出方法,其特征在于:
所述密闭空间被划分为多个。
12.如权利要求8或9所述的液滴排出方法,其特征在于:
在所述检查排出步骤中,从所述液滴排出头为检查而排出的液滴渗透到所述检查用载置媒介中,在所述盖配置步骤中,所述检查用盖配置在渗透了液滴的所述检查用载置媒介上。
13.如权利要求8~12的任一项所述的液滴排出方法,其特征在于:
在所述检查排出步骤中,所述检查用盖由支承所述拍摄部的拍摄支承部保持。
14.如权利要求8~12的任一项所述的液滴排出方法,其特征在于:
在所述检查排出步骤中,所述检查用盖由使所述检查用载置媒介在水平方向移动的载置媒介移动机构保持。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造