[发明专利]多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法

权利要求书

1.多晶硅生产中污染的氟利昂的净化方法，其特征在于，包括以下步骤：

将污染的氟利昂通过压缩机，输送到高冷器；

高冷器中的氟利昂气体部分输送到干燥后的装有活性炭的实验罐进行吸附；另一部分氟利昂液体部分进入储罐，再输送到蒸发器中，变为气态后，输送至压缩机；

实验罐中吸附后的氟利昂输送到压缩机；

在实验罐出口处用PH试纸检测，试纸变红，断开气相，停止吸附，将实验罐隔离，用热氮气进行再生处理后，再继续进行吸附处理；直至试纸不变色，停止吸附。

2.根据权利要求1所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述的压缩机为螺杆压缩机。

3.根据权利要求1所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述实验罐的干燥过程为：通过热氮气对活性炭进行干燥，干燥至实验罐压力漏点为-75～-65℃。

4.根据权利要求3所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述的实验罐干燥至实验罐压力漏点为-70℃。

5.根据权利要求1或3所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述氮气通过列管式换热器进行加热。

6.根据权利要求5所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述氮气采用蒸汽加热。

7.根据权利要求1所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述实验罐为车间内的移动收集罐。

8.根据权利要求1所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述实验罐中吸附后的氟利昂与蒸发器气相出口会和后，输送到压缩机。

9.根据权利要求1所述的净化方法，其特征在于，其中，

所述的再生处理与权利要求3所述的实验罐的干燥过程相同。